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PECVD设备标准作业指导书(最新)
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内部保密文件
PECVD 标准作业指导书
（最新）
2013 年6 月编
1
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S.C New Energy Technolgy Corporation www.C
内部保密文件
目录
第1 章 安全知识 9
1.1 安全标识说明 9
1.2 安全知识说明 10
1.2.1 一般安全知识 10
1.2.2 安全装置 11
1.2.3 安全装置系统功能（一） 11
1.2.4 安全装置系统功能（二） 11
1.2.5 用户公司安全须知（一） 12
1.2.6 用户公司安全须知（二） 12
1.2.7 维护及预防性维护（一） 12
1.2.8 维护及预防性维护（二） 13
1.2.9 电气系统 13
1.2.10 工艺气系统 14
1.2.11 设备上的安全标签 14
1.2.12 消防安全 15
1.3 气体安全 15
1.3.1 氮气（N2 ） 15
1.3.2 氨气（NH3 ） 15
1.3.3 硅烷(SiH4) 16
1.3.4 笑气（N2O ） 16
第2 章 技术数据 17
2.1 尺寸与重量(详见设备铭牌) 17
2.2 介质连接 17
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