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磁场测量的新看法陈寰 2012.2.12摘要通过感应地球磁极，人们能在杳无人迹的的大洋上掌握航向，这便是磁场测量的最早应用。如今磁场测量得到了极大地发展，并出现了各式各样的磁传感器，用来检测磁场的存在、强度及方向，测量领域也涵盖了地磁、永磁体、磁化软磁铁、车辆扰动、脑电波、电流产生的磁场等各个方面。磁传感器可以不用直接接触就能测量这些特性，并在众多工业以及航向控制方面发挥着重要作用。这篇论文讲述了几种磁场测量的方法以及这些传感器是如何工作并集成哪些功能。最后，系统地展示了磁场测量的一些应用。简介磁传感器被良好应用已经有了超过2000年的历史了。早期应用在寻找方向或是导航方面。如今，磁传感器仍然是导航的主要方法并且其他方面的应用也得到了发展。为了获得更大的灵敏度，更小的尺寸，以及与电子系统的兼容性，使得磁场感应技术不断发展。本文概述了各种类型的磁传感器以及他们的应用。目的不是说如何构建磁传感器系统，更多讲述的是这种传感器本身以及它是如何勘测磁场的。这里着重介绍了一种新型的基于硅的磁传感器—各向异性磁阻（AMR）和巨磁阻（GMR），以及它们的应用。使用磁传感器来测量磁场通常不是我们的初衷，其它的的参数如轮速、磁性油墨的存在、车辆检查以及航向检测也是所需要的。这些参数不能直接测得，但是却可以同过磁场的变化或是扰动得出。图1表明其他传感器，像是温度、压力、张力、或亮度等这些参数都可以使用合适的传感器直接测得。图1.常规传感器与磁感应传感器另一方面，使用磁传感器测量方向、存在性、自转、角度以及电流时获得的都是间接数据。首先，定制的输入必须产生或者改变一个磁场。电线中的电流、永磁体或是感应地磁场都能产生这个场。一旦传感器检测到或是改变了这个场，通过将输出信号做相应的处理就可以转化为所需要的参数值。这不仅使得磁感应应用起来有点困难，而且也要对那些难以感应到的数据做到准确可靠的测量。根据各种磁感应传感器测量磁场的范围不同，可将它们分类。那么我们可以将这些传感器分为以下三种—弱磁场、中磁场和强磁场。本文将能检测到低于1微高斯的传感器称为弱磁场传感器，高于1微高斯低于10高斯称为地磁场传感器，高于10高斯的则称为偏置磁场。表1列举了各种传感器技术并述了它们的测量范围。表1.各种传感器技以及测量范围接下来的部分讲述了几种磁场传感器和它们工作所遵循的物理定律以及这些定律在传感器中的具体体现。磁场是矢量，它既有大小又有方向。磁传感器测量磁场大小方式多种，一些磁力仪可以测得磁场大小却不能测量磁场方向（标量传感器），其他则是测量磁极附近的磁场大小（全方位传感器），这些测量方式有的也包含了方向测量（双向传感器）。矢量磁传感器有2到3个双向传感器。一些磁传感器设立了阈值，只有当超过阈值时才有输出。下面要将到的磁传感器的类型既包括了旧技术如磁簧开关、可变磁阻传感器、磁通门磁力计、磁电感传感器、霍尔器件等也包括了新技术如各向异性磁阻AMR和巨磁阻GMR。一、弱磁场传感器（低于1微高斯）弱磁场传感器广泛用于医学和军事侦察方面。与其他磁场感应传感器比起来，他们相对笨重而且昂贵。必须要考虑到地磁场的影响，因为地磁场的日变化可能会超过弱磁场传感器的测量范围。SQUID（超导量子干涉器）最灵敏的弱磁场传感器非超导量子干涉器（SQUID）莫属。1962年，Brian J. Josephson在测量临界点的极弱电流时发明了这种技术。SQUID磁力计测量磁场的范围从几飞特斯拉（FT）到9特斯拉（T）。这个范围超过了15个数量级！这是能用于医疗领域的关键，因为人类脑磁场的强度只有十分之几FT,这比地磁场弱了倍。这项技术需要冷却到液氦的温度（4K），同时高温技术正在发展中。SQUID器件，像德国FIT公司和日本Shimadzu公司研发的HS07。很多研究所和大学都在使用SQUID磁力计来研究磁性材料的特性。Search-Coil（探查线圈）另一种常见的弱磁场传感器时基于法拉第电磁感应定律的探查线圈—线圈中产生的感应电动势与磁场的变化率成正比。而这个感应电动势产生的感应电流便与磁场变化率成正比。而线圈灵敏度取决于磁芯的磁导率、线圈面积和线圈匝数。为了正常工作，线圈必须放在一个不断变化的磁场中或是在磁场中移动。这些就限制了探查线圈只能用于静态或是缓慢变化的磁场领域。而这些传感器通常用于道路交通控制信号，成本低廉而且易于制造。其他弱磁场传感器其它弱磁场传感器技术包括核旋进磁力计、光泵磁力计、光纤磁力计。这些精密仪器用于实验研究和医疗领域。例如，核旋进磁力计很长时间的稳定性可以低达50PT/year（皮特斯拉每年）二、地磁场传感器（1微高斯到10高斯）借用地球本身存在的磁场作为介质，这些地磁场传感器应用得很好。几个运用地磁场的例子分别是利用指南针来确定航向，车辆异常检测，以及通过测量磁场变化