压电式气体感测器阵列之研制-科技部工程科技推展中心.pdf

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 壓電式氣體感測器陣列之研製(第 3年) 研究成果報告(完整版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 97-2221-E-036-020-MY3 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年07月31日 執 行 單 位 ： 大同大學機械工程學系 計 畫 主 持 人 ： 陳永裕 共 同 主 持 人 ：吳政忠 報 告 附 件 ： 出席國際會議研究心得報告及發表論文 公 開 資 訊 ： 本計畫涉及專利或其他智慧財產權，2年後可公開查詢 中 華 民 國 100 年 10月 31 日 中文摘要： 近年來，隨著微機電技術與微電子科技的日新月異，電子鼻的 功能也日益精進，因此已被廣泛地應用至各個領域，如智慧居 家、工業、軍事、醫療等。典型的電子鼻裝置包括三個功能單 元，即氣體取樣單元、感測器陣列（sensor array ）及信號處理 單元。相較於其他感測器陣列的技術，壓電型感測器可同時對 質量載重與電性變化產生反應，故深具未來發展的潛力。有鑑 於此，本計畫旨在結合奈米氣體感測材料來研製壓電式氣體感 測器陣列，並創見利用聲子晶體結構來改善感測器間的耦合效 應，以發展更輕薄短小之感測器陣列。主要的研究工作包括壓 電式氣體感測器之分析、聲子晶體之頻溝分析與蝕刻、奈米氣 體感測材料（鍍鉑氧化鋅奈米柱）之合成，並製作石英晶體微 天平氫氣感測器與石英晶體微天平感測器陣列，目前均已順利 完成。理論與實驗結果均顯示，壓電式氣體感測器具有優異的 感測效能，且聲子晶體結構也確實能有效地改善壓電式氣體感 測器陣列的耦合效應，這些研究成果可作為未來發展氣體感測 器陣列之重要依據。計畫執行期間，除了因應先進製程技術的 需求，已組成跨國研究團隊外，也發表了九篇期刊論文、十篇 國際研討會論文及六篇國內研討會論文，並申請兩項發明型專 利，顯見研究成果受到肯定，且兼具學術前瞻性與工程實用 性。同時，由於相關研究成果深具商業化潛力，因此目前正與 廠商進行產學合作，未來也將進行技術移轉，期能協助該廠商 建立前瞻技術，將讓本計畫之先導性研究成果落實於實際產品 的開發上。 英文摘要： Over the last decade, electronic nose technologies have undergone vigorous developments because of the great progress of micro- electro-mechanical system (MEMS) and microelectronics. The electronic nose is now applied to fulfill needs in various areas such as the smart living space, industry, the military, and medicine. A typical el