微机械角速率传感器cmos闭环驱动电路-哈尔滨工业大学学报.pdf

第４３卷　第１１期 哈　尔　滨　工　业　大　学　学　报 Ｖｏｌ４３ Ｎｏ１１ 　 　 ２０１１年１１月 ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＨＡＲＢＩＮＩＮＳＴＩＴＵＴＥＯＦＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ Ｎｏｖ．２０１１ 　　　　　　 微机械角速率传感器 ＣＭＯＳ闭环驱动电路 １ １，２ １，２ １ 尹　亮 ，刘晓为 ，陈伟平 ，周治平 （１．哈尔滨工业大学 微电子技术与科学系，１５０００１哈尔滨，ｙｉｎｌｉａｎｇ２００３＠１２６．ｃｏｍ； ２．哈尔滨工业大学 微系统与微结构制造教育部重点实验室，１５０００１哈尔滨） 摘　要：为解决微机械角速率传感器的驱动信号对检测电极的耦合问题，提出一种基于电压频率调制闭环 静电力驱动方法．该方法将驱动电压调制到高频，有效地将机械谐振频率与电压驱动频率分离，同时不改变 驱动静电力的相位与频率．采用自动增益控制电路使得闭环驱动幅值非稳定性为００１％，片上集成跨阻放 大器可实现１ａＦ／ｓｑｒｔ（Ｈｚ）电容变化测量．闭环驱动电路采用１８Ｖ高压Ｎ阱ＣＭＯＳ工艺设计，芯片面积 ２ －１ －１ １８９ｍｍ．在±９Ｖ电源条件下，角速率传感器输出刻度因子１０ｍＶ·（（°）·ｓ ） ，线性度０３％，偏置稳 定性１９０（（°）／ｈ）．测试结果表明，该方法在机械表头常压封装下（品质因子为８０），无需后续电路相位调整， 即能有效的实现传感器的闭环自激驱动． 关键词：角速率传感器；寄生电容；跨阻放大器；专用集成电路 中图分类号：ＴＨ８２４ 文献标志码：Ａ 文章编号：０３６７－６２３４（２０１１）１１－０００６－０５ ＡＣＭＯＳｃｌｏｓｅｄｌｏｏｐｄｒｉｖｉｎｇｃｉｒｃｕｉｔｓｆｏｒｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ａｎｇｕｌａｒｒａｔｅｓｅｎｓｏｒ １ １，２ １，２ １ ＹＩＮＬｉａｎｇ，ＬＩＵＸｉａｏｗｅｉ ，ＣＨＥＮＷｅｉｐｉｎｇ ，ＺＨＯＵＺｈｉｐｉｎｇ （１．Ｄｅｐｔ．ｏｆＭｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１５０００１Ｈａｒｂｉｎ，Ｃｈｉｎａ，ｙｉｎｌｉａｎｇ２００３＠１２６．ｃｏｍ； ２．ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭｉｃｒｏＳｙｓｔｅｍｓａｎｄＭｉｃｒｏＳｔｒｕｃｔｕｒｅｓＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ，ＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ， ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，１５０００１Ｈａｒｂｉｎ，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｓｏｌｖｅｔｈｅｃｏｕｐｌｉｎｇｐｒｏｂｌｅｍｆｒｏｍｄｒｉｖｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｄｅｔｏｓｅｎｓｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｄｅｏｆｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｇｕ ｌａｒｒａｔｅｓｅｎｓｏｒ，ａｃｌｏｓｅｄｌｏｏｐｄｒｉｖｉｎｇａｐｐｒｏａｃｈｏｆｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃｆｏｒｃｅｂａｓｅｄｏｎｖｏｌｔａｇｅｆｒｅｑｕｅｎｃｙｍｏｄｕｌａｔｉｏｎｉｓ ｐｒｏｐｏｓｅｄ，ｗｈｉｃｈｓｅｐａｒａｔｅｓｔｈｅｍｅｃｈａｎｉｃａｌｒｅｓｏｎａｎｃｅｆｒｅｑｕｅｎｃｙｆｒｏｍｖｏｌｔａｇｅｄｒｉｖｅｆｒｅｑｕｅｎｃｙｗｉｔｈｏｕｔｃｈａｎｇｉｎｇ ｔｈｅｐｈａｓｅａｎｄｆｒｅｑｕｅｎｃｙｏｆｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃｆｏｒｃｅ．Ａｕｔｏｍａｔｉｃｇａｉｎｃｏｎｔｒｏｌｃｉｒｃｕｉｔｓａｒｅａｄｏｐｔｅｄｔｏｇｅｔ０．０１％ａｍｐｌｉ ｔｕｄｅｉｎｓｔａｂｉｌｉｔｙｏｆｃｌｏｓｅｄｌｏｏｐｄｒｉ