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利用E5061B 进行阻抗测试 安捷伦科技应用工程师 李养哲 元器件阻抗的传统测试方法是采用阻抗分析仪和LCR 表进行R、L、C 的测试， 在 E4991A 阻抗分析仪中还有电路仿真功能。由Agilent 公司推出的最新的低频- 射频矢量网络分析仪E5061B 不但具备测试器件S 参数的能力，同时也可以测试 元器件的阻抗。 1、E5061B 低频-射频网络分析仪 具有3L5 选件的E5061B 矢量网络分析仪内部具有两部份不同的电路，分别用 于测试元器件的低频特性和射频特性。E5061B-3L5 包括 S 参数测试端口 （5Hz-3GHz，阻抗=50 欧姆）和增益相位测试端口（5Hz-30MHz，阻抗=1M 欧 姆或50 欧姆）。同样，两种接口也可以测试元器件的阻抗特性。下图说明了 E5061B 的结构。 E5061B 结构框图和前面板 其中，S 参数测试端口配合16201A 7mm 测试座，可以兼容E4991A 的测试夹 具，对元器件进行阻抗测试。增益相位测试端口可以兼容LCR 表采用的4 端对测 试夹具对元器件进行阻抗测试。 E5061B 兼容7mm 和4 端对测试夹具 16201A 7mm 测试座 2、E5061B-3L5 阻抗测试方法 E5061B 有三种方法可以测试元器件的阻抗：反射法、串联直通法和分流 直通法。 反射法特点：  阻抗测量范围为中等阻抗  适用S 参数测试端口  Zdut=50*(1+S11)/(1-S11) 串联直通法特点：  阻抗测试范围为中等阻抗到大阻抗  适用于S 参数测试端口和增益相位测试端口  Zdut=50*2*(1-S21)/S21 分流直通法特点：  阻抗测试范围为小阻抗  适用于S 参数测试端口和增益相位测试端口  Zdut=50*S21/(2*(1-S21)) 3、反射法测试过程： 被测件为1nF 电容： 3.1 阻抗测量设置 3.2 校准和补偿 校准 补偿 等效电路分析 3.3 测试结果 1pF 测试结果 利用16092A 测试1pF 电容 4 、结论： E5061B-3L5 具有005 选件时，在满足S 参数测试的基础上，同时具有元 器件阻抗测试的功能。但是在测试精度方面，还是没有精密阻抗分析仪的测 试精度高。下图是E5061B-3L5 与阻抗分析仪测试范围的比较。