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传感器原理与应用 11.化学传感器 * 11 化学传感器 化学传感器 11.1 概述 对各种化学物质敏感并将其浓度转换为电信号进行检测的仪器。 化学传感器必须具有对待测化学物质的形状或分子结构选择性俘获的功能（接受器功能）和将俘获的化学量有效转换为电信号的功能（转换器功能）。 如离子传感器，液膜或固体膜具有接受器功能，膜完成电信号的转换功能，接受和转换部位是分离的，有利于对每种功能分别进行优化； 传感方式 结构形式 接触式 非接触式 分离型传感器 组装一体化传感器 如半导体气体传感器，分子俘获功能与电流转换功能在同一部位进行，有利于化学传感器的微型化。 * 检测对象 气体传感器 湿度传感器 离子传感器 生物传感器 气体传感器的传感元件多为氧化物半导体，有时在其中加入微量贵金属作增敏剂，增加对气体的活化作用。 半导体气体传感器 固体电解质气体传感器 接触燃烧式气体传感器 晶体振荡式气体传感器 电化学式气体传感器 气体传感器 化学传感器 * 检测对象 气体传感器 湿度传感器 离子传感器 生物传感器 湿度传感器是测定气体中水气含量的传感器。 电解质式湿度传感器 高分子式湿度传感器 陶瓷式湿度传感器 半导体式湿度传感器 离子传感器是对离子具有选择响应的离子选择性电极。它基于对离子选择性响应的膜产生的膜电位。 玻璃膜 溶有活性物质的液体膜 高分子膜 聚氯乙烯膜 化学传感器 * 检测对象 气体传感器 湿度传感器 离子传感器 生物传感器 生物传感器是对生物物质敏感并将其浓度转换为电信号进行检测的仪器。生物传感器的优点是对生物物质具有分子结构的选择功能 化学传感器的应用领域： 矿产资源的探测 气象观测和遥测 工业自动化 医学上的疾病诊断和实时监测 农业上生鲜保存和鱼群探测 防盗、安全报警等 化学传感器 * 11.3 气体传感器 11.3.1 概述 按待检测气体性质分类 检测易燃易爆气体的传感器： ——氢气、一氧化碳、瓦斯、汽油等 检测有毒气体的传感器： ——氯气、硫化氢、砷烷等 检测工业气体的传感器： ——氧气、二氧化碳等 检测大气污染的传感器： —— NOx、SOx、HCl、CO2、CH4、O3、甲醛等 化学传感器 * 1930年：发现氧化亚铜的导电率随水蒸气的吸附而改变； ——气敏效应。 1960年：研制成功了SnO2气敏元件； 这些金属氧化物都是利用陶瓷工艺制成的具有半导体特性的材料，因此称为半导体陶瓷(简称半导瓷)。 　 主要物理特性 传感器举例 工作温度 典型被测气体 电阻式 电 　 阻 表面控制型 氧化银、氧化锌 室温~450℃ 可燃性气体 体控制型 氧化钛、氧化钴、氧化镁、氧化锡 700℃以上 酒精、氧气、可燃性气体 非 电阻式 表面电位 氧化银 室温 硫、醇 二极管整流特性 铂/硫化镉、铂/氧化钛 室温~200℃ 氢气、一氧化碳、酒精 晶体管特性 铂栅MOS场效应管 150℃ 氢气、硫化氢 11.3.2 半导体气敏器件 化学传感器 * 11.3.2.1 电阻型半导体气敏器件 气敏半导体材料SnO2是N型半导体。它的导电机理可以用吸附效应来解释： 1.作用原理 晶粒等效体电阻 晶粒等效表面电阻 化学传感器 * 2. 结构及参数 一致性较差，机械强度也不高。 但它价格便宜，工作寿命长。 1.烧结型气敏器件： 这类器件以半导瓷SnO2为基体材料(其粒度在 以下)，添加不同杂质，采用传统制陶方法烧结。 化学传感器 * 2. 薄膜型气敏器件 采用蒸发或溅射方法在石英基片上形成一薄层氧化物半导体薄膜。 SnO2和ZnO薄膜的气敏特性较好。 具有较高的机械强度，互换性好，产量高、成本低 化学传感器 * 3.厚膜型气敏器件 它是用SnO2或ZnO等材料与3％～15％(重量)的硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶，把厚膜胶用丝网印制到事先安装有铂电极的Al2O3基片上，以400～800℃ 烧结1小时制成。 一致性较好，机械强度高，适于批量生产。 化学传感器 * 化学传感器 * 11.3.2.2 非电阻型气敏器件 1.MOS二极管气敏器件 如果二极管的金属与半导体的界面吸附有气体，而这种气体又对半导体的禁带宽度或金属的功函数有影响的话，则其整流特性就会发生变化。 在二氧化钛电极上薄薄地蒸发一层钯薄膜，就形成了钯-二氧化钛二极管气敏传感器，这种传感器可用来检测氢气。 氢气对这种二极管整流特性的影响如下: 在氢气浓度急剧增高的同时，正向偏置条件下的电流也急剧增大。 所以在一定的偏置下，通过测量电流值就能知道氢气的浓度。 化学传感器 * 化学传感器 * 2.Pd-MOSFET气敏器件 利用MOS场效应晶体管(MOSFET)的阈值电压的变化做成的半导体气敏器件。