第7章合成与制备-材料物理化学2013秋.pdf

2013-10-24 内 容 材料物理化学  固体功能材料（部件）的种类 Physics and Chemistry of Materials  单晶材料的生长基本原理 第六章 固体功能材料的制备 （1）  Si材料的制备和单晶生长  SiC 半导体单晶生长 施鹰；yshi@shu.edu.cn  SiC (f)/SiC 复合材料 上海大学材料学院电子信息材料系 6.1 不同类型的微电子材料产品 1 2013-10-24 为什么选择Si 1.资源丰富，且易于提高到极 高的纯度； 2.易于生长出大直径低位错 的单晶：直径 450mm,442kg的 Si单晶 3.工作温度高，带隙适中， 不因本征激发而影响器件性能； 4.易于对Si进行宽范围可控n 型和p掺杂，迁移率性能良好； 5.易于通过沉积工艺制备出 不同结构特性的外延薄层材料. 7. 欧姆接触性质好; 8. 是无毒绿色材料 6. 具有相当优良的力学性能， 同时易于截断和解理Si单晶 Si从原料到单晶 SiO 的优点 1. 氧化特性好;硅表面上很容易制 2 备高质量的介电层－－SiO ，方 2 便地用于器件中的电气绝缘和表 面钝化； 2. 化学性质稳定，高温性能稳定； 3. 能够担当化学阻挡层和扩散阻 挡层；但可用化学方法使其微结 构化易于去除； 4. 透明性能优良，有利于高质量 抛光； 5