直流电弧等离子体法制备Si纳米粉末.pdfVIP

摘要 厂、 蚋米粉末因其在光学、电学、磁学、力学等方面的性能，向人们展示出其巨 太的应用前景，尤其是由其制成的纳米材料，更是具有多种优异性能的功能材料， 譬广阔的市场潜力才笨文对纳米材料应用技术的现况和最新的研究进展进行了介 -绍，对纳米材料应用技术的未来进行了展望。 本文详细地介绍了Si纳米粉末独有的特殊性质以及它在微电子与计算机应 用方面的巨大潜力；对直流电弧等离子体法制各纳米粉末的机理进行了描述；并 由宏观下艺参数出发，以流体动力学理论为工具，对电弧等离子体制粉设备中的 沉积室内的气体流动情况进行了分析，建立了相应的数学模型；用数值计算的方 法对该模型进行了计算，得到了沉积室内空间各点的速度分布等微观参数；通过 分析沉积室内的流场情况以及Si纳米粉自身的一些性质，找出了宏观工艺参数与 微观参数之间的联系，了解到不同取粉部位的粉末的粒径有很大差异，(并与实验 结果进行了比较、验证，从而制定出合适的取粉部位，并对一些特殊现象进行了 解释。 通过多次实验，了解到等离子体制粉设备中的等离子枪能否得到足够的冷却， 是连续制粉的关键。等离子枪内的阴极棒与阳极坩埚之间的距离的远近，是实验 能否进行下去的先决条件，对粉末的产率与粉末的粒度的影响都是极大的。≯ ， 本文采用直流电弧等离子体法在氩、氨、氩氮等气氛下制备了Si纳米粉末。 I通过选用不同的T艺参数，并采用透射电镜(TEM)、x射线衍射(XRS)以及图像分 轿等诸多分析手段，对制得的Si纳米粉的晶体结构、粒子形态、成分、平均粒径、 粒度分布及产率等性质进行了研究，得出了Si纳米粉末的平均粒径与粒度分布随 工作时间的不同、真空度的降低、弧电流的加大及气氛的不同两产生的变化规律， 深入地研究了等离子体制粉的原理。充分利用各种因素对纳米粉末性能的影响， 改进己有的等离子体制粉设备，找出最适合于制备出纯净、粒径小、粒度分布均 匀、产率人的纳米粉末的工艺条件。≯ 本文对纳米粉末的成核、长大及冷却过程作了简单的探讨。 关键词纳米粉末，纳米材料，等离子体，平均粒径，粒度分布 、 ABSTRACT attentionwith has much 、 Nanometer attracted manyimportantpotential powder in so on．Especially，the optics。magnetism，electronics，mechanics，and applications with materials are functional madefromnanometer the materials powder nanophase broadmarket the manifoldexcellent andhave paper，we performance potential．In