多弧离子镀！#与不同金属基材间的接触界面与表面特性.PDFVIP

!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! !#$%%!# ’’ !$()$( 多弧离子镀!# 与不同金属基材间 的接触界面与表面特性 . . @ . . . 徐富春 ， 王水菊 ， 林秀华 ， 汤丁亮 ， 张棋河 ， 薛 茹 （厦门大学 分析测试中心， 物理系， 固体表面物理化学国家重点实验室，厦门 ） . + @ + + #(! 摘 要： 用多弧离子镀技术在不同金属基材上进行 镀膜实验，制备了 、 和 复合膜 借 A/B A/B *: A/B 29 A/B 2C 29 + 助扫描电子显微镜（ ）、 射线衍射仪（ ）和光电子能谱（ ），研究了 与 、 和 三种不同衬底 1,D E EFG EH1 A/B *: 29 2C 29 接触界面的形貌、结构及其表面特性 观察发现，在一定离子镀膜条件下， 涂层可与 、 和 金属基 + 1,D A/B *: 29 2C 29 材形成均匀平整的接触界面，在铜基上 界面清晰，在 与 界面有明显的层状晶界微结晶分布 分析 A/B *: 2C 29 + EFG 显示， 、 和 表面生成的薄膜都包含 、 等多晶相，在 界面还包含 的金属间化合物 *: 29 2C 29 A/B A/ B 2C 29 A/ I 2C + ’ EH1 结果表明，表面除了 膜外，还生成 和 等氧化膜 K 刻蚀 后， 消失， 减少， A/B A/J A/J B + 3C -/6 A/J A/J B A/B ’ ! ’ ! 则呈增加趋势+ A/B 与2C 29 界面形成明显的A/ I 2C 和2C I B/ 互扩散层，这有助于增强薄膜附着力，形成较牢固的 A/B 涂层+ 关键词： 多弧离子镀；氮化钛；接触界面；表面特性 中图分类号： ， ， 文献标识码： AL!%= + ! AL!! += J=?= + 3 面微结构化学组成与表面形貌的影响，以期获得覆 $ 引 言 盖牢固、稳定性好、机械性能佳