非球面超精密气浮式测头设计及仿真.PDF

非球面超精密气浮式测头设计及仿真———尹韶辉 彭杰宏 唐 昆等 暋 暋 暋 非球面超精密气浮式测头设计及仿真 尹韶辉 彭杰宏 唐 昆 陈逢军 胡 天 暋 暋 暋 暋 暋 暋 , , 湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心 长沙 410082 : , , 摘要 非球面接触式测量过程中 采用空气静压轴承的气浮式测头 可以减小测量探针对被测表面 。 , 的压力和测头移动过程中所受的摩擦力 设计了一种非球面超精密气浮式测头 采用工程算法对其方 , , 形空气静压轴承进行了尺寸设计 建立了三种采用不同节流孔形式的轴承设计模型 同时分别对这三个 , 轴承工作时内部的气流以及整个测头内部的气流建立了有限元模型 并采用Fluent流体计算软件对以 、 , 。 , 上气流模型的气压分布 压强以及流量进行了仿真计算 预测了测头的静态性能 结果表明 测头刚度 / , , 可达1灡77MN m 测头与被测表面之间的接触力可控制在0.1~7mN之间 所消耗空气流量最多为 3/, 。 3灡6m h满足测头设计要求 : ; ; ; ; 关键词 非球面 气浮式测头 空气静压轴承 气腔 仿真 中图分类号: : / TG87暋暋暋暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2014.10.001 j DesinandSimulationofPneumaticControlProbeforUltra飊recisionAshereMeasurement g p p YinShaohui暋Pen Jiehon暋Tan Kun暋ChenFen un暋HuTian g g g gj , , , NationalEnineerin ResearchCenterforHihEfficiencGrindin HunanUniversitChansha410082 g g g y g y g : , AbstractInthecourseofasherecontact-t emeasurementthe neumaticcontrolrobewith p yp p p aerostaticbearin wasadotedtodecreasethe ressurewheremeasurin robeactedonmeasuredsur