09年MEMS惯性传感器现状及200年发展趋势-北天星国际有限公司.PDFVIP

MEMS技术最早由Richard Pfeynman（1965年获得诺贝尔物理奖），在1959年 提出设想。1962年硅微型压力传感器问世。 1979年Roylance和Angell开始压阻式微加速计的研制。1991年Cole开始 电容式微加速度计的研制。 惯性传感器包括加速度计（或加速度传感计）和角速度传感器（陀螺）以及 它们的单、双、三轴组合IMU（惯性测量单元），AHRS（包括磁传感器的姿态参 考系统）。 MEMS加速度计是利用传感质量的惯性力测量的传感器，一般由标准质量块 （传感元件）和检测电路组成。根据传感原理不同，主要有压阻式、电容式、压 电式、隧道电流式、谐振式、热电耦合式和电磁式等。 1998年，美国CSDL设计研制了最早的MEMS陀螺。同年，Drapor实验室研 制了另一种形式的MEMS陀螺。 MEMS陀螺是利用震动质量块被基座（壳体）带动旋转时的哥氏效应来传感 角速度的原理制成。 主要形式有框架驱动式（内、外框架两种）梳状驱动式、电磁驱动式等。 IMU由于是MEMS技术组合的微型惯性测量单元，所以很多地方称为MIMU。 主要由三个MEMS加速度传感器及三个陀螺及解算电路组成。 AHRS则为包括三个磁传感器的IMU，并且依据四元素法进行了解算，直接可 输出一个运动体的俯仰角、横滚角和航向角。 低精度MEMS惯性传感器作为消费电子类产品主要用在手机、游戏机、音乐 播放器、无线鼠标、数码相机、PD、硬盘保护器、智能玩具、计步器、防盗系统、 GPS导航等便携式。由于具有加速度测量、倾斜测量、振动测量甚至转动测量等 基本测量功能，有待挖掘的消费电子应用会不断出现。 中级MEMS惯性传感器作为工业级及汽车级产品，则主要用于汽车电子稳定 系统（ESP或ESC）GPS辅助导航系统，汽车安全气囊、车辆姿态测量、精密农 业、工业自动化、大型医疗设备、机器人、仪器仪表、工程机械等。 高精度的MEMS惯性传感器作为军用级和宇航级产品，主要要求高精度、全 温区、抗冲击等指数。主要用于通讯卫星无线、导弹导引头、光学瞄准系统等稳 定性应用；飞机/导弹飞行控制、姿态控制、偏航阻尼等控制应用、以及中程导 弹制导、惯性GPS导航等制导应用、远程飞行器船舶仪器、战场机器人等。 用作消费电子类的MEMS惯性传感器，主要要求是单价低、尺寸小、温度范 围窄、因而精度要求低，甚至是功能性产品。加速度传感器重量轻、功耗小、一 般测量范围1～10g～50g，分辨率2mg～10mg，陀螺一般量程在±300°/s，零偏 在500°/h～1000°/h，因此有些公司的产品不给出零偏指标或给出0.1°/s～ 0.5°/s。 目前可以生产MEMS加速度传感器的公司比较多，大多数为半导体、如美国 的ADI、Invensense、ST、Freescale、SensorDynamics、MSI(ICSensor)、MEMSIC （生产地在中国无锡）欧洲的VTI、Infine，生产MEMS陀螺的公司美国的ADI、 Knoix、ST，欧洲的Infine、Methes，日本的Murata、National、冲电气、富士 通。12月3日中国上海深迪半导体有限公司发布了消费类的MEMS陀螺，无锡一 家公司也在研发中。 （意法半导体——ST） （VTI） （MEMSIC） 工业级的惯性传感器大多以模块形式出现，对于应用于工业级芯片级产品， 还必须进行处理，包括软件和硬件电路，以及对不同工业环境的适应性，大多数 要求价格适中，精度一定优于消费类应用加速度传感器的量程选择比较宽1～ 500g，分辨率1mg～3mg，陀螺量程大多250°/s以内，零偏在50°/h～200°/h， 汽车级可作为一个工业应用的特殊产品，对其可靠性要求高，同时由于需求数量 大，和一般工业要求不一样的是单价要低。生产这些产品的公司有美国的BEI、 ADI、Silicon design、Honeywell、Delphi、MSI、Crossbow、Microstrain、欧 洲的VTI、Colibry、Bosch、Sensonor，日本的北陆电气、SSS公司，中国的西 安中星测控。 （BEI） （Silicon de