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东 莞 程 工 自 动 化 科 技 有 限 公 司 Dongguan Cheng Gong automation technology co., LTD 激光干涉仪作业指导书 文件编号 CG-QC-03-001 版 次 A/0 页 数 共24页 受文单位 □总经办 □营销中心 □资材部 □人力资源部 □生产部 ?品质部 □研发部 □工程部 □财务部 □ISO小组 □售服部 □采购部 核 准 审 核 制 定 汤帅 东莞程工自动化科技有限公司Dongguan Cheng Gong automation technology co., LTD 文件编号 CG-QC-03-001 版本版次 A/0 页码页次 2/24 文件名称 激光干涉仪作业指导书 制订部门 品质部 制订日期 2015/11/25 修 改 记 录 次数 修订章节 版本 修订内容 修订 修订日期 0 全文 A/0 初版发行。 汤帅 2015/11/25 东 莞 程 工 自 动 化 科 技 有 限 公 司 Dongguan Cheng Gong automation technology co., LTD 文件编号：CG-QC-03-001 版次 页次 制订部门 制订日期 修订日期 文件名称 激光干涉仪作业指导书 A/0 3/24 品质部 2015/11/25 / 检验项目 图 示 检 验 步 骤 品质要求 工量治具 作业时间 1 仪 器 介 绍 1.环境补偿装置 2.激光器 3.传感器 4.三脚架 5.云台 核准： 复核： 审核 制订： 东 莞 程 工 自 动 化 科 技 有 限 公 司 Dongguan Cheng Gong automation technology co., LTD 文件编号：CG-QC-03-001 版次 页次 制订部门 制订日期 修订日期 文件名称 激光干涉仪作业指导书 A/0 4/24 品质部 2015/11/25 / 检验项目 图 示 检 验 步 骤 品质要求 工量治具 作业时间 仪 器 介 绍 6.控制板 9.镜组 核准： 复核： 审核: 制订: 东 莞 程 工 自 动 化 科 技 有 限 公 司 Dongguan Cheng Gong automation technology co., LTD 文件编号：CG-QC-03-001 版次 页次 制订部门 制订日期 修订日期 文件名称 激光干涉仪作业指导书 A/0 5/24 品质部 2015/11/25 / 检验项目 图 示 检 验 步 骤 品质要求 工量治具 作业时间 仪 器 介 绍 10.气泡水平仪 11.环境补偿器 核准： 复核： 审核: 制订: 东 莞 程 工 自 动 化 科 技 有 限 公 司 Dongguan Cheng Gong automation technology co., LTD 文件编号：CG-QC-03-001 版次 页次 制订部门 制订日期 修订日期 文件名称 激光干涉仪作业指导书 A/0 6/24 品质部 2015/11/25 / 检验项目 图 示 检 验 步 骤 品质要求 工量治具 作业时间 2 仪 器 安 装 1.将三脚架放在平稳的地面。将伸缩式三脚架支脚拉至必要的长度，并用支脚的伸缩扣锁定。 调整三脚架的高度，以便在安装 ML10 激光器后，激光束刚好能击中装在待测机床上的测量镜组。展开三脚架的支脚让它站稳固定。 把三脚架的支脚拉杆拉长以展开支脚。 把三脚架的中心轴拉开以展开支脚不要将三脚架支脚的伸缩扣上得太紧，以便随时调整。用中心主轴旁边的小型圆形气泡水平仪来确定三脚架是否平稳。 视需要调整三脚架的支脚，直到气泡浮在中央。