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  • 2017-09-17 发布于江苏
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ETCH工艺培训

一、概述 目的:蚀刻工序是用去膜液去除非线路部分的物质,蚀刻掉印制线路以外的裸铜层,如是镀锡板则除去抗蚀锡层,再经过人工检板,OK板经QC抽检合格后,即可出至下工序。 二、工艺流程 镀锡抗蚀流程 图形电镀 退膜 蚀刻 退锡 检查 下工序 镀金抗蚀流程 全板镀金 退膜 蚀刻 检查 下工序 退膜 一、目的: 除去铜板上覆盖的干膜,露出底铜层 。 二、控制点 退膜不净、溶锡的控制 主要参数 注意事项 1.每班开工前用毛巾擦拭整机外表至干净,检查传送运转正常及行辘 是否粘胶,喷咀畅通无堵塞。 2.每班清洗退膜缸过滤器中过滤网及缸中的过滤网,防止膜渣堵塞过 滤网、喷管、喷嘴,并对退膜缸内四周及缸底清洗干净。每班更换 一次水洗缸清洗过滤网及过滤筒, 3.每天更换一次退膜缸药水,每班分析一次退膜液的含量。 4.巡线人员生产过程中检查退膜后的板面有无退膜不净、溶锡等品质 缺陷,每4个小时巡线检查所有的压力、温度、速度、液位是否正常。 生产过程中,巡线人员发现滤渣要满出网外必须及时清理,防止药 水溢出缸外。 5. 每周对退膜线做一次保养,检查喷嘴有无堵塞。 蚀刻 一、目的: 用化学的方法将未被干膜保护的部分铜面蚀刻掉,留下我们所需要的图形。 二、控制点 生产首板及过程的控制蚀刻不净蚀刻过度 主要参数 主要参数 注意事项 1.量产前先做首板,合格后通知生产部做首板给IPQC检查并做记录, 重新确认之前首板参数的稳定性。 2.首板合格后,进行批量生产,蚀刻巡线人员对蚀刻后的板进行检查, 过程板进行监控。 3.每班清洗过滤器中的过滤网,开工前检查所有传送运行情况、有无 破损,检查所有喷淋的喷嘴是否堵塞,合格后批量生产。 4.巡线人员每4个小时巡线检查所有的压力、温度、速度、液位是否 正常,生产过程中检查蚀刻后板面是否有大面积的蚀刻不干净、 溶锡、残铜等品质缺陷。 5.每周完成保养一次,保养时盐酸废液排入排酸管道,保养后必须要 拆喷架检查喷嘴是否有堵塞。 6.每班分析一次蚀刻液的含量和氨水洗浓度,每班更换一次氨水缸。 退锡 一、目的: 用退锡水除去线路表面的锡抗蚀层,得到所需的线路成型图形。 二、控制点 退锡不净 主要参数 注意事项 1.每班清洗退锡缸及水洗缸过滤器中的过滤网,开工前检查所有传送 运行情况、有无破损,检查所有喷淋的喷嘴是否堵塞。 2.巡线人员每4个小时巡线检查所有的压力、温度、速度、液位是否 正常。 3.接板人员必须检查退锡后板面是否有退锡不净、水分等品质缺陷。 4.每周完成保养一次,保养时硫酸废液排入排酸管道,氢氧化钠排入 排碱管道,保养后必须要拆喷架检查喷嘴是否有堵塞。 5.退锡机烘干段每周清洁一次,过滤网须用吸尘器清洁。 三、蚀刻岗位故障分析及排除 脱膜不完全 可能原因: 解决方法: 1.药液不够 1.添加新药水 2.药液温度不够 2.加热药水至操作温度 3.喷嘴堵塞 3.清洗喷嘴 4.干膜贴膜温度过高 4.调节贴膜温度 5.过滤器堵塞导致喷 5.清洗过滤器之堵塞物 淋压力不够 三、蚀刻岗位故障分析及排除 沿线路部分干膜去不净 可能原因: 图形电镀镀层厚度偏厚 解决方法: 1)降低电流密度 2)改film增大线隙 3)使用较厚的干膜 4)加电镀辅助块 三、蚀刻岗位故障分析及排除 蚀刻不完全 可能原因: · 药液温度不够 · 药液铜含量不符合要求 · 药液pH值不符合要求 解决方法: · 加热至操作温度 · 调节比重感应器降低传送速度,让药液比 重回复正常 · pH值低加氨水, pH值高加大排气量 三、蚀刻岗位故障分析及排除 过蚀现象 可能原因:

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