EBSD技术原理与应用.pdf

电子背散射衍射技术原理与应用 Electron Back-Scatter(ed) Diffraction （EBSD ） 2014.09.17 电子背散射衍射技术原理与应用  EBSD技术对样品的要求及制备方法  电子背散射衍射仪的构成及工作原理  EBSD数据采集与处理  EBSD 的分析速度和分辨率  EBSD花样提供的信息及其用途  电子背散射衍射技术的应用  EBSD技术对样品的要求及制备方法  EBSD样品的要求 样品能产生计算机可以识别，且能正确标定的菊 池衍射花样， 要求样品表面平整，无较大的应变  样品的制备方法 金属样品：电解抛光 陶瓷样品：机械抛光+硅胶抛光 金属基复合材料：离子束刻蚀  电子背散射衍射仪的构成及工作原理  电子背散射衍射仪的构成 近年来， EBSD 已 成为SEM或EPMA 的主要附件，并可 与EDS一体化而配 合使用 EBSD探测器外观图  电子背散射衍射仪的构成及工作原理  电子背散射衍射仪的构成及控制方式 SEM 电子束扫描方 式设置为定点模式 电子束控制 样品台控制 电子背散射衍射仪的工作原理图 电子背散射衍射仪的构成及工作原理  EBSD样品的要求 Beam 要求EBSD 样品表 面平整、无较大应 O 变，表面法线相对 入射束倾斜约70º 散射电子强度随散射角的变化 EBSD样品的放置  电子背散射衍射仪的构成及工作原理  EBSD花样的产生 e- 荧光屏 衍射晶面迹线 衍射晶面 衍射圆锥 2dsinθ=λ EBSD菊池线 单个晶面电子背散射衍射原理示意图  电子背散射衍射仪的构成及工作原理  EBSD花样的产生 一般情况下，均可 获得多晶带同时参