半导体工艺基础 第三章——透射电子显微镜.pdf

第三章透射电子显微镜 透射电子显微镜 【教学内容】  电镜照片实例  电镜发展历程与现状  透射电子显微镜的结构与成像原理  主要部件的结构与工作原理  透射电子显微镜的分辨率和放大倍数的测定 【重点掌握内容】  了解透射电子显微镜的结构与成像原理；  了解透射电子显微镜主要部件的结构与工作原理；  了解透射电子显微镜的分辨率和放大倍数的测定。 【教学难点】 透射电子显微镜的工作原理 4 透射电子显微镜  电镜照片实例  电镜发展历程与现状  透射电子显微镜的结构与成像原理  主要部件的结构与工作原理  透射电子显微镜的分辨率和放大倍数的测定 透射电子显微镜——照片实例 电子显微镜通常可分为扫描电子显微镜（Scanning electron microscopy，SEM ）和透射电子显微镜（Transmission electron microscopy，TEM ）两类，是材料微观分析的重要工具之一， 被广泛应用于材料、化工、医学、生物等各个领域。例如 • • • 透射电镜 扫描电镜 透射电子显微镜——照片实例 例1：恐龙蛋化石的表面分析 （a) 恐龙蛋数码图片 (b）恐龙蛋扫描电镜图片 图 恐龙蛋壳的微观形貌 2008 年，江西赣州发现 15 枚罕见恐龙蛋化石。在肉眼下， 恐龙蛋壳表面光滑，但在扫描电镜下，其表面却并不光滑，而是 呈凹凸不平状。 透射电子显微镜——照片实例 例2：“泰坦尼克号”铆钉断面形貌 （a）“泰坦尼克号”油轮 （b）铆钉断面的扫描电镜形貌 图 “泰坦尼克号”油轮铆钉的断面分析 “泰坦尼克号” 油轮曾号称“永不沉没之船”， 然而，在1912 年4月15 日 该船的首航过程即因为与冰山碰撞而永沉北大西洋海底。有科学家通过扫描 电镜发现，在该油轮所用的铆钉断面处含有较高比例的有机成份，推测认为 这是导致铆钉在冰冷的海水中发脆，进而导致沉船事故发生的原因。 透射电子显微镜——照片实例 例3 ：“非典”病毒 （a）非典型病毒示意图 （b）非典型病毒的透射电镜图 图 非典型病毒的透射电镜图片 2003年春流行的非典型肺炎由 Sars病毒引起，属管状病毒。 在透射电镜下， “非典”病毒呈不规则形状，直径约60-220 nm 。病毒粒子外包着脂肪膜，膜表面有三种糖蛋白：刺突糖 蛋白、小包膜糖蛋白、膜糖蛋白。 透射电子显微镜——照片实例 例4 ：甲型H1N1流感病毒 （a）一位加州患者的TEM图 （b）负染色体技术拍摄的H1N1的TEM图 图 甲型H1N1病毒的透射电镜图片 2009年开始，甲型H1N1流感在全球范围内大规模流行。典型病毒颗粒呈球 状，直径为80nm-120nm，有囊膜。囊膜上有许多放射状排列的突起糖蛋 白，分别是红细胞血凝素(HA)、神经氨酸酶(NA)和基质蛋白M2 。病毒颗 粒内为核衣壳，呈螺旋状对称，直径为10nm。 透射电子显微镜——照片实例 例5 ：单晶硅与多晶硅 （a）单晶硅 （b）多晶硅 图 单晶硅与多晶硅的高倍率透射电镜形貌 硅是集成电路产业的基础，半导体硅工业产品包括单晶硅、多晶硅、 外延片和非晶硅等，其中单晶硅具有完整的点阵晶体结构，不同的方向具 有不同的性质，是一种良好的半导材料，其纯度要求达到 99.9999%