半导体工艺基础 第一章——1至4节.pdf

第第一章章 XX射线射线衍射射原理 第一章 X射线衍射原理 第一节 X射线的性质 第第二节节 XX射线与物质的相互作用射线与物质的相互作用 第三节 X射线晶体学基础 第四节第四节 布拉格方程布拉格方程 第五节 X射线衍射的强度 第六节 X射线物相分析 第一章 X射线衍射原理 第第一节节 X射线的性质射线的性质 11、XX射线的发现与产生射线的发现与产生 2、X射线的本质 3、X射线谱 第一节 X射线的性质 1. X射线的发现与产生 X-射线的发现：1895年德国物理学家伦琴在研究阴极射线时发现了一种新 的射线，这种射线能够使胶片曝光并使铂氰化钡粉末发出荧光。他把这种 尚不清楚的射线称之为X-射线。后人为纪念他也称此射线为伦琴射线。在 获首届诺贝尔奖年获首届诺贝尔奖。。 感应圈使放电管发出阴极射 线 1895年12月22日，他邀请夫人来到实验室，用他夫 1895年11月8日深夜，已经担任德 人的手拍下了这一具有历史意义的第一张人手X射 国维尔兹堡大学校长职务的伦琴。 线照片。这张照片现在保存在慕尼黑德国博物馆中。 第一节 X射线的性质——X射线的发现与产生 与X-射线插肩而过的科学家 第一节 X射线的性质——X射线的发现与产生 与X-射线插肩而过的科学家 你有何感想你有何感想？？ 第一节 X射线的性质——X射线的发现与产生 X-射线的产生： 高速运动的电子与物质碰撞时被突然减速或停止运动高速运动的电子与物质碰撞时被突然减速或停止运动，，其大其大 部分动能 （~99% ）转变为热能使物体升温，而一小部分动 能 （~1% ）则转转变为光光能以X射线线形式式向外界释释放。 板状阳极（A ，称为靶） 和阴极（C，灯丝）密封 在一个玻璃-金属管壳内， 阴极通电加热阴极通电加热，在阳极和在阳极和 阴极间加直流高压U，则 阴极产生大量热电子阴极产生大量热电子ee，，在在 高压电场作用下，这些电 子飞向阳极，与阳极碰撞 的瞬间产生X射线 产生X射线的基本电气电路 第一节 X射线的性质——X射线的发现与产生 高速运动的微观粒子流，如γ射线、中子和电子等被受阻 时均会产生时均会产生XX射线射线。。通常情况下通常情况下，，采用高能电子束来产生采用高能电子束来产生 X射线，这样的装置称为X射线管。 第一节 X射线的性质——X射线的发现与产生 X射线处于紫外线与γ射线之间，波长在0.01~10nm范围内，用于衍射 分析的波长范围为分析的波长范围为0.050.05~0.25nm0.25nm 产生X-射线必须具备的基本条件： 1. 产生自由电子（如加热钨丝发射热电子） 2. 加速电子使其高速定向运动（在阴极、阳极间施加高压） 3. 在电子运动路径上设置障碍物（阳极靶）使其减速 第一节 X射线的性质——X射线的发现与产生 1912年，劳厄(M V Laue)、弗里德里希(Fdededch W)与克 尼平（Knipping ）所做的实验演示了X射线通过晶体所产 生的衍射花样生的衍射花样，对科学的发展产生了不可估量的影响对科学的发展产生了不可估量的影响。 1914年劳厄师生获得了诺贝尔奖。 “劳埃实验的伟大意义在于它劳埃实验的伟大意义在于它一箭双雕地证明了箭双雕地证明了XX-射线的射线的 波动性本质及晶体结构排列的周期性质”— 柯列迪 原理图