- 1、本文档共22页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
纳米压痕结合有限元法确定横观各向同性薄膜的力电耦合参数
2010中国计算力学大会暨第八届南方计
算力学学术会议—四川 绵阳
CCCM2010SCCM--8
纳米压痕结合有限元法确定横观各向同性薄
膜的力电耦合参数
郑辉 王甲世 宋书涛 郑学军*
湖南 湘潭大学
7/22/2014
感谢:国家自然科学基金(Grant Nos.
湖南省芙蓉学者([2007]362)
报告的主要内容
纳米压痕技术简介
研究内容
1. 薄膜压痕的基底效应
2. 横观各向同性薄膜弹性参数
3. 横观各向同性薄膜压电常数
结论
2
Faculty of Materials, Optoelectronics Physics Xiangtan University
1.纳米压痕技术简介
1)仪器及实验装置原理
纳米压痕仪照片
压痕仪工作原理图
3
Faculty of Materials, Optoelectronics Physics Xiangtan University
2)传统的O-P法确定块体材料弹性模量
dP 2
S E A
dh r
1 12 12 [1,2]
( i )indenter ( )sample
E E E
r i
应用到薄膜遇
到的问题?
[3,4]
1.基底效应 ;
2.尺寸效应
(粘附效应和表面粗糙度效应等.) 压痕加载曲线
[1] M. F. Doerner, D. S. Gardner and W. D. Nix. J. Mater. Res. 1986, 1: 845-851.
[2] W. C. Oliver, G. M. Pharr. J. Mater. Res. 1992, 7: 1564-1583.
[3] T. Y. Tsui, J. J. Vlassak and W. D. Nix. J. Mater. Res. 1999, 14: 2196-2203.
[4] T. Y. Tsui, J. J. Vlassak and W. D. Nix. J. Mater. Res. 1999, 14: 2204-2209.
4
Faculty of Materials, Optoelectronics Physics Xiangtan University
3)结合有限元发展纳米压痕方法
Zhao[5]和Liao[6] 等人结合有限元发展了纳米压痕方法应用于各
项同性薄膜的力学表征。他们通过加载和卸载曲线的特性 (如加载功、
卸载功、加载曲线的上的加载力
您可能关注的文档
- 等离子体物理-5单粒子轨道理论.pdf
- 类的抽象与封装部分的小结与补充.pdf
- 米顿罗G系列M型隔膜计量泵使用说明书GM_HC.339-0080-000.02_2013.RevG.pdf
- 管理学原理第1讲管理管理者与组织.pdf
- 粉末冶金成形测量技术.pdf
- 管理质量和绩效.pdf
- 类别股与中国公司法的演进_朱慈蕴.pdf
- 类圆形颗粒状果实种子类的鉴别.pdf
- 粉碎与分级、均化设备.pdf
- 粉末诒金零件设计及应用.pdf
- 四川省什邡市事业单位考试(中小学教师类D类)职业能力倾向测验强化训练试题集带答案.docx
- 2025年贵州省福泉市职业能力倾向测验事业单位考试(中小学教师类D类)试题新版.docx
- 福建省石狮市职业能力倾向测验事业单位考试(中小学教师类D类)试题学生专用.docx
- 黑龙江省绥芬河市事业单位公开招聘考试职业能力倾向测验(D类)(中小学教师类)真题最新.docx
- 2025年江苏省昆山市事业单位考试(中小学教师类D类)职业能力倾向测验试卷审定版.docx
- 黑龙江省密山市事业单位考试(中小学教师类D类)职业能力倾向测验知识点试题最新.docx
- 2025年江苏省丹阳市事业单位考试(中小学教师类D类)职业能力倾向测验试卷及参考答案1套.docx
- 贵州省福泉市事业单位考试职业能力倾向测验(中小学教师类D类)强化训练题库1套.docx
- 守则规范伴我行.pptx
- 安全教育主题课.pptx
文档评论(0)