纳米压痕结合有限元法确定横观各向同性薄膜的力电耦合参数.pdf

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2017-09-19 发布于湖北
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纳米压痕结合有限元法确定横观各向同性薄膜的力电耦合参数.pdf

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纳米压痕结合有限元法确定横观各向同性薄膜的力电耦合参数

2010中国计算力学大会暨第八届南方计算力学学术会议—四川绵阳 CCCM2010SCCM--8 纳米压痕结合有限元法确定横观各向同性薄膜的力电耦合参数郑辉王甲世宋书涛郑学军* 湖南湘潭大学 7/22/2014 感谢：国家自然科学基金(Grant Nos. 湖南省芙蓉学者([2007]362) 报告的主要内容  纳米压痕技术简介  研究内容 1. 薄膜压痕的基底效应 2. 横观各向同性薄膜弹性参数 3. 横观各向同性薄膜压电常数  结论 2 Faculty of Materials, Optoelectronics Physics Xiangtan University 1.纳米压痕技术简介 1）仪器及实验装置原理纳米压痕仪照片压痕仪工作原理图 3 Faculty of Materials, Optoelectronics Physics Xiangtan University 2）传统的O-P法确定块体材料弹性模量 dP 2 S   E A dh  r 1 12 12 [1,2]  ( i )indenter ( )sample E E E r i 应用到薄膜遇到的问题？ [3,4] 1.基底效应 ; 2.尺寸效应 (粘附效应和表面粗糙度效应等.) 压痕加载曲线 [1] M. F. Doerner, D. S. Gardner and W. D. Nix. J. Mater. Res. 1986, 1: 845-851. [2] W. C. Oliver, G. M. Pharr. J. Mater. Res. 1992, 7: 1564-1583. [3] T. Y. Tsui, J. J. Vlassak and W. D. Nix. J. Mater. Res. 1999, 14: 2196-2203. [4] T. Y. Tsui, J. J. Vlassak and W. D. Nix. J. Mater. Res. 1999, 14: 2204-2209. 4 Faculty of Materials, Optoelectronics Physics Xiangtan University 3）结合有限元发展纳米压痕方法 Zhao[5]和Liao[6] 等人结合有限元发展了纳米压痕方法应用于各项同性薄膜的力学表征。他们通过加载和卸载曲线的特性（如加载功、卸载功、加载曲线的上的加载力