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纳米压痕结合有限元法确定横观各向同性薄膜的力电耦合参数
2010中国计算力学大会暨第八届南方计
算力学学术会议—四川 绵阳
CCCM2010SCCM--8
纳米压痕结合有限元法确定横观各向同性薄
膜的力电耦合参数
郑辉 王甲世 宋书涛 郑学军*
湖南 湘潭大学
7/22/2014
感谢：国家自然科学基金(Grant Nos.
湖南省芙蓉学者([2007]362)
报告的主要内容
纳米压痕技术简介
研究内容
1. 薄膜压痕的基底效应
2. 横观各向同性薄膜弹性参数
3. 横观各向同性薄膜压电常数
结论
2
Faculty of Materials, Optoelectronics Physics Xiangtan University
1.纳米压痕技术简介
1）仪器及实验装置原理
纳米压痕仪照片
压痕仪工作原理图
3
Faculty of Materials, Optoelectronics Physics Xiangtan University
2）传统的O-P法确定块体材料弹性模量
dP 2
S E A
dh r
1 12 12 [1,2]
( i )indenter ( )sample
E E E
r i
应用到薄膜遇
到的问题？
[3,4]
1.基底效应 ;
2.尺寸效应
(粘附效应和表面粗糙度效应等.) 压痕加载曲线
[1] M. F. Doerner, D. S. Gardner and W. D. Nix. J. Mater. Res. 1986, 1: 845-851.
[2] W. C. Oliver, G. M. Pharr. J. Mater. Res. 1992, 7: 1564-1583.
[3] T. Y. Tsui, J. J. Vlassak and W. D. Nix. J. Mater. Res. 1999, 14: 2196-2203.
[4] T. Y. Tsui, J. J. Vlassak and W. D. Nix. J. Mater. Res. 1999, 14: 2204-2209.
4
Faculty of Materials, Optoelectronics Physics Xiangtan University
3）结合有限元发展纳米压痕方法
Zhao[5]和Liao[6] 等人结合有限元发展了纳米压痕方法应用于各
项同性薄膜的力学表征。他们通过加载和卸载曲线的特性 （如加载功、
卸载功、加载曲线的上的加载力
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