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凍幫浦與維修技術 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 原理與結構 原理：屬於低溫幫浦 ，其產生低溫主要是因有壓縮機和膨脹室之故；利 用高純度氦（He ，99.995%以上之純度） ，經壓縮到300psi的高壓，壓 縮機產生的熱利用水或空氣來冷卻 ，高壓氦氣在膨脹室膨脹，產生降溫 作用。 低溫幫浦在操作前，內部需先充滿190psi的氦氣 ，此壓力在幫浦靜止時 充滿膨脹室內部 ，閥門圓盤（Valve disk）有四個開口 ，由閥門馬達 （Valve motor）帶動旋轉 ，此圓盤轉動可控制氦氣進出 ，每轉一圈氣 體進出兩次 ，通常閥門馬達轉速為77rpm ，因此氣體壓縮膨脹每分鐘進 行144次 ，壓縮機運轉後高低壓管的壓力約為300psi及100psi 。結構如 圖一。 結構 ：商用 凍幫浦主要包括壓縮機（Compressor）和膨脹室（Expander） 部分 ，基本上它是超低溫的冷凍系統，利用氣體膨脹吸熱的原理產生極低 的溫度，然後依據低溫抽氣的作用以達到抽真空的效果 。圖二及表格一中即 顯示常見之氣體蒸汽壓大小與溫度的關係 。 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 圖一 、 凍幫浦結構圖 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 圖二、氣體蒸汽壓與溫度的關係圖 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 表格一蒸汽壓大小與溫度的關係 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 氣體 壓大小 冷凍幫浦低溫抽氣主構造如下圖三 ，分為 個不同溫度的低溫面 ，第一級溫度為50- 80K ，第二級溫度為10-20K ，在設計上為防止熱輻射對第二級的影響 ，第一級要將第二級 罩住 ，因此第一級通常設計成百葉窗式的45度擋片 ，第二級設計成倒懸的杯狀 ，杯內部 貼附有活性炭的吸附材料 ，抽氣時氣體由系統經高真空閥而進入幫浦本體，首先碰上70K 的第一級 ，這時水氣以及部分二氧化碳將喪失動能脫離氣態而凝結在低溫面上，其餘的 氣體則喪失部分動能而進入第二級，在10K的低溫面上除He 、Ne和H2外 ，所有氣體都將 凝而附著在此低溫面上，這種因冷卻而喪失動能脫離氣態的現象稱之為低溫 凝作用 （Cryo-condensation），至於He 、Ne和H2等氣體再次喪失部分動能後被第二級上的活性 炭吸附住 ，這種現象稱為低溫吸附作用（Cryo-sorption），冷凍幫浦即是靠此 種作用 達到抽氣的目的。使用活性炭而不用分子篩是因活性炭在室溫時再生，而分子篩需250度 C左右之溫度，此高溫會導致銦墊片受損。 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 圖三、 凍幫浦低溫抽氣主構造圖 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 壓縮機（圖四）充入高 ： 純度He氣 ，操作時將氦 氣壓縮成高壓 ，壓縮過 程產生的熱先由潤滑油 卻，再由環繞壓縮機 的水帶走 ，高壓氦氣經 高壓輸送管導入膨脹 室 ，經膨脹吸熱後再由 輸送管送回壓縮機，圖 五所示是氦氣在壓縮機 部分循環所經過各有關 部分的簡圖 。 圖四、氦壓縮機 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建