可靠性物理7.pdfVIP

电子元器件可靠性物理 第一讲可靠性物理 （失效物理）的概念 中国赛宝实验室 可靠性研究分析中心 费庆宇 可靠性物理的起源 可靠性物理/失效物理的定义 • 第二次世界大战，美国军方从经验教训 • 可靠性物理的定义：研究电子元器件失效模式、 中觉醒，推动了电子元器件可靠性物理 失效机理和纠正措施的学科 的诞生 • 失效模式：失效的表现形式，失效的结果 • 机械产品的可靠性优于电子产品可靠 • 失效机理：引起电子元器件失效或退化的物理 性，刺激了电子元器件可靠性物理研究 的、化学的、冶金的和环境的原因 的开展 • 美国AGREE组织的建立，指导了可靠性 物理研究的开展 可靠性物理应用举例：金属电迁移 金属电迁移 • 失效模式：金属互连线电阻值增大或开路 • 失效机理：电子风效应 • 产生条件：电流密度大于105A/cm2 高温 • 纠正措施：提高淀积温度，增加铝颗粒直径， 掺铜，降低工作温度，减少阶梯，铜互连、平 面化工艺 1 电迁移纠正措施之一：平面化工艺 失效的概念 1 失效定义：在规定的条件下产品不能正常工 作或特性不符合技术指标的规定 规定条件：指环境条件和应力条件 例：1k Ω电阻在温度25ºC，电流为100mA时阻值 误差小于5 ％为技术指标 阻值超出5 ％为失效 2 失效判据的概念 3 失效判据的规定：根据技术文件或实际需要 确定 失效模式的定义和分类 失效发生期与失效机理的关系 • 失效模式：失效的表现形式，失效的结果 • 早期失效：设计失误、工艺缺陷、材料 • 按失效发生期划分：早期失效、随机失效、磨 缺陷、筛选不充分 损失效 • 随机失效：静电损伤、过电损伤 • 按失效速度划分：突发性失效、缓慢退化 • 磨损失效：元器件老化 • 按失效程度划分：致命性失效、间歇失效、退 化性失效 • 随机失效有突发性和明显性 • 按电测试结果划分：开路、短路、参数漂移、 • 早期失效、磨损失效有时间性和隐蔽性 功能失效 失效发生期与失效率 突发性失效/致命性失效 失效率＝ 试验时间内失效的元件数 试验初始的元件数×试验时间 率 效 失 早期