基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件-强激光与粒子束.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２３ ７ Ｖｏｌ．２３ Ｎｏ．７ 　 　 年 月 ， ２０１１ ７ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊｕｌ． ２０１１ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１１０７１８３１０４ 　 基于子孔径拼接原理检测大口径光学元件 云 宇， 彭 勇， 田小强， 周文超 　 　 　 　 　 （中国工程物理研究院 应用电子学研究所，四川 绵阳 ６２１９００） 摘 要： 为了实现小口径干涉仪对大口径光学元件的低成本、高分辨力检测，可采用子孔径拼接方法。 　　 　 　 在对拼接算法进行改进的基础上，开发了拼接检测软件；建立了一套拼接检测系统，开展了大口径平面光学元 件的子孔径拼接检测实验研究。利用 个 子孔径拼接来检测 的光学元件， ９ ６０ｍｍ×６０ｍｍ １２０ｍｍ×１２０ｍｍ 检测结果表明：峰谷值误差为 ２．３７％，均方根值误差仅为 ０．２７％。 关键词： 大口径光学元件； 子孔径拼接； 最小二乘法； 光学检测 　　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＨ７４１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ１８３１ 　　 　 　　　　 　 　　 随着科学技术的不断发展，大口径光学系统在天文光学、空间光学、地基空间目标探测与识别、惯性约束聚 　　 变等高技术领域得到了越来越广泛的应用。为了获得高精度的大口径光学元件，需要精度与之相适应的检测 方法和仪器。传统光学检测中，大口径光学元件加工质量的检测一般使用大口径干涉仪，要求有一块与被检测 元件尺寸相同或者更大的标准元件，而这样一个高精度的标准元件不仅加工难度极大，制造成本高，同时对检 测环境的要求也很高，这些都无形地增加了检测的成本和难度。为了寻求一种便捷、高效、低成本的检测手段， ［］ １ 国外在 世纪 年代开展了子孔径拼接技术的研究 ，使用小口径、高分辨力的干涉仪通过拼接技术来实现 ２０ ８０ 大口径光学元件的面形或透射波前误差的检测。这是一项新的高精度检测大口径光学元件加工质量的方法， 与传统检测方法相比，它既保留了干涉测量的高精度，又免去了制造大口径标准元件的麻烦，从而大大降低了 ［］ ２ 成本，同时还可以获得大口径干涉仪所截去的波面高频信息 。目前，该技术在国内正从初期的原理、实验研 ［］ ３ 究阶段转入到应用研究和商业化的仪器研制阶段