多弧离子镀制备犜犻牦犻荦涂层的结构及其摩擦学行为 .PDFVIP

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２８ ６ Ｖｏｌ．２８ Ｎｏ．６ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１５ １２ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｄｅｃｅｍｂｅｒ ２０１５ ： ／ ｄｏｉ１０．１１９３３ ．ｉｓｓｎ２０１５．０６．００４ ｊ 多弧离子镀制备犜犻犛犻犖涂层的结构及其摩擦学行为 ， １２ ２ １ ２ ２ １ 姚懿容 ，李金龙 ，朱丽慧 ，王永欣 ，叶育伟 ，牛瑞丽 （ 上海大学 材料科学与工程学院，上海 ； 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 中国科学院海洋新材 １． ２０００７２ ２． ａ． 料与应用技术重点实验室， 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室，浙江 宁波 ） ｂ． ３１５２０１ 摘 要：为了研究 含量对 涂层性能的影响，采用多弧离子镀技术在 表面制备了不同 含量（质量 Ｓｉ ＴｉＳｉＮ Ｔｉ６Ａｌ４Ｖ Ｓｉ 　 分数）的 涂层。利用扫描电子显微镜（ ）、透射电子显微镜（ ）、电子能谱仪（ ）、 射线光电子能谱仪 ＴｉＳｉＮ ＳＥＭ ＴＥＭ ＥＤＳ Ｘ （ ）纳米压痕仪、摩擦磨损试验机表征其表面形貌、成分，力学性能及摩擦学性能。结果表明：随着靶材中 含量的 ＸＰＳ Ｓｉ 增加，涂层硬度从 增加到 。在 涂层中 元素主要以 非晶态存在，形成了非晶 包裹 ３５ＧＰａ ４２ＧＰａ ＴｉＳｉＮ Ｓｉ ＳｉＮ ＳｉＮ ＴｉＮ ３ ４ ３ ４ 纳米晶结构。当靶材中 含量为 时，涂层在海水中的磨损率约为 ６ ３／（ · ），此时涂层的摩擦性能最好。 Ｓｉ ８％ ２．１×１０ ｍｍ Ｎ ｍ 关键词：ＴｉＳｉＮ涂层；多弧离子镀；海水；摩擦学性能 中图分类号： ； 文献标志码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４４ ＴＧ１１５．５８ Ａ １００７９２８９２０１５０６００２００８ 　　　 　　 犛狋狉狌犮狋狌狉犲犪狀犱犜狉犻犫狅犾狅犻犮犪犾犘狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳犜犻犛犻犖犆狅犪狋犻狀狊犘狉犲犪狉犲犱犫 犃狉犮犐狅狀犘犾犪狋犻狀 犵 狆 犵 狆 狔 犵 ， １２ ２ １