什麽是洁净室.PDF

無塵室設計 1.1什麼是潔淨室 1.2微粒性質與潔淨度的等級區分 1.3污染物質與對各類操作環境的影響 1.4微粒移動的機制 National Taipei university of technology, Department of Energy and Refrigerating Air-Conditioning Engineering 什麼是潔淨室?  「潔淨室」是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有 害空氣、細菌等之污染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、 室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電 控制在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。  為了避免製造過程中，空氣中的微粒附著在產品上造成品