RTS-9型双电测四探针测试仪用户手册.pdf

目 录 1.概 述 2 2. 技 术 指 标 2 3 3. 测 量 原 理 4. 仪 器 面 板 说 明 3 4.1 仪器前面板 4 4.2 仪器后面板 5 5. 使 用 方 法 5 5.1 仪器连接和启动6 5.2 RTS-9 双电测四探针软件测试系统6 5.2.1 功能特点6 5.2.2 系统要求6 5.2.3 软件安装 6 5.2.4 启动/关闭四探针软件测试系统...7 5.2.5 四探针软件测试系统的用户界面..7 5.2.6 软件使用8 5.3 测量样品基本操作流程19 感谢您使用我们的产品！ 如您是首次使用本仪器，请先详读本说明书，并妥善保留之以备查阅之用。 如有问题，欢迎致电：020或登陆:http// RTS-9 双电测四探针测试仪用户手册 1. 概 述 RTS-9型双电测四探针测试仪测量原理通过采用四探针双位组合测量技术，将范德堡测量方法推广应 用到直线四探针上。利用电流探针和电压探针的组合变换，进行两次电测量，其最后计算结果能自动消 除由样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素所引起的，对测量结果的不利影响。因 而在测试过程中，在满足基本条件下可以不考虑探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置等因素。 这种动态地对以上不利因素的自动修正，显著降低了其对测试结果的影响，从而提高了测量结果的准确 度。其优点是目前广泛使用的常规四探针测量方法根本办不到的。 使用本仪器时，由于不需要人为进行几何边界条件和探针间距的修正，因而对各种形状的簿膜材料 及片状材料有广泛的适用性。 仪器适用于测量片状半导体材料电阻率以及硅扩散层、离子注入层、异型外延层等半导体器件和液 晶玻璃镀膜层、电热膜……等导电膜的方块电阻(或称簿层电阻和面电阻) 。 仪器由四探针测试仪主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成，通过 RTS-9 双电测四探 针软件测试系统对四探针测试仪主机发出控制指令来获得用户需要的测量数据，主机在接收到指令后按 照测量程序进行测量(如四探针头探头电流探针和电压探针的组合变换测量、电流量程切换、采集测量数 据回主机等），并把采集到的数据反馈回计算机中加以运算、分析，然后把测试数据以表格，图形直观地 记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到 的数据输出到Excel 中，让用户对数据进行各种数据分析。 2. 技 术 指 标 测量范围 -4 5 电阻率：10 －10 Ω.cm； -3 6 方块电阻：10 －10 Ω/ □； -5 4 电导率：10 －10 Ω.cm； 适合样品厚度：≤ 4.00 mm ；