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XPS光电子峰和俄歇电子峰峰位表
II
射线光电子能谱(XPS)
一 XPS 的物理基础3
1. X 射线与物质的相互作用3
2. 光电效应3
3. 电离过程和弛豫过程4
二 结合能与化学位移6
1. Koopman 定理6
2. 初态效应7
3. 终态效应 10
4. 结合能的参考基准12
5. 固体中的光电发射13
三 XPS 谱的一般特性(GENERAL FEATURES) 14
1. XPS 谱图的初级结构14
2. XPS 谱图的次级结构17
四 定性分析18
1. 元素组成鉴别:18
2. 化学态分析19
3 应用实例21
五 定量分析26
六 XPS 谱仪技术30
1 超高真空系统(UHV) 30
2 X 光源30
3 分析器系统31
4 数据系统33
5 其它附件33
6 谱仪灵敏度和检测限34
7 谱仪能量的定标34
8 清洁表面制备 35
七 深度剖析与成像XPS 36
1 结构破坏性深度剖析36
2 非结构破坏性深度剖析36
3 成像XPS(iXPS). 37
八 数据处理38
九 结 论39
电子能谱(Electron Spectroscopy)
2−
2
第二章 X 射线光电子能谱(XPS)
XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy) 又被称为 ESCA(Electron Spectroscopy for
Chemical Analysis) 它是以 X 射线为探针 检测由表面出射的光电子 来获取表面信
息的 这些光电子主要来自表面原子的内壳层 携带有表面丰富的物理和化学信息
XPS 作为表面分析技术的普及 归因于其高信息量 其对广泛样品的适应性以及其坚
实的理论基础
本章将介绍XPS 方法并阐述其理论 仪器 谱的表示及其应用
一 XPS 的物理基础
1. X 射线与物质的相互作用
为领会表面分析方法XPS(ESCA) 对光电效应和光电发射的了解是必要的 当一
个光子冲击到一原子上时 将会发生下列三个事件之一 (1)光子无相互作用地穿过
(2)光子被原子的轨道电子散射 导致部分能量损失 (3)光子与轨道电子相互作用把光
子能量全部传给电子 导致电子从原子中发射 第一种情形无相互作用发生 第二种
可能性称为康普顿散射 它在高能过程中是重要的 第三种过程准确地描述了光电发
XPS
射 此即 的基础
2. 光电效应
1887年赫芝(Hertz)首先发现了光电效应 1905年爱因斯坦应用普朗克的能量量子
化概念正确解释了此一现象 给出了这一过程的能量关系方程描述 由此贡献爱因斯
坦获得了1921年的诺贝尔物理奖
我们知道原子中的电子被束缚在不同的量子化能级上
ĤΨi=E Ψi
i
hν n
原子吸收一个能量为 的光子后可引起有 个电子的系统的激发 从初态波函数
i i f f
Ψ(n) E (n) Ψ(n- 1,k) E (n- 1,k) E
和能量 跃迁到终态离子 和能量 再加上一动能为 的自由光
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