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刻蚀和PECVD培训
工艺部：刘志敏
全球能源 ·中国智慧
等离子体刻蚀定义
• 等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活
成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻
蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性生
成物而被去除。它的优势在于快速的刻蚀速率同时可获得
良好的物理形貌。（这是各向同性反应）
• 这种腐蚀方法也叫做干法腐蚀。
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全球能源 ·中国智慧
2种天线耦合方式
（a ）静电耦合主要利用静电场
成份来加速电子，又称电容耦合，
产生电容耦合等离子体；
（b）感应耦合利用感应电场成
份，无外加磁场时产生感应耦合等
离子体；有外加磁场时产生螺旋等
离子体；
七星华创 四十八所
捷佳创
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全球能源 ·中国智慧
干法刻蚀气路图
MFC1 CF4 阀
CF4
MFC2 射频功率源
O2 O2 阀
N2 N2阀
充气阀 反应室
预抽阀
稀释阀
尾气
主抽阀
进气均流板 电子执行
器
过滤网
主阀
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