硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 ２１ １２ 　 Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．１２ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１３ １２ Ｄｅｃ．２０１３ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１３１２３１１８０８ 　 硅微机械陀螺仪测控电路的温度补偿  曹慧亮，李宏生 ，王寿荣，杨 波，黄丽斌 　 （东南大学 仪器科学与工程学院 微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室，江苏 南京 ２１００９６） 摘要：提出了一种基于微机械陀螺仪测控电路进行温度补偿的方法。介绍了本课题组自主研发的ＳＨＨ１７＃陀螺结构， 分析了温度变化对陀螺的影响，并对驱动和检测模态的谐振频率，品质因数以及标度因数和零偏进行了测试。分析了陀 螺结构的动力学方程以及测控电路，指出了标度因数与驱动幅度和检测回路增益成正比，与两模态频差成反比。以热敏 电阻为补偿元件在检测次级放大器中补偿标度因数，然后以直流叠加的方法在低通滤波器模块对零偏的温度系数和输 出值进行了补偿，并介绍了补偿参数的配置方法。实验显示，经过温度补偿，标度因数和零偏的温度系数分别由３９３× －６ －１ －１ －１ －６ －１ －１ －１ · 和 （）· · 减小到了 · 和 （）· · ，补偿后 零偏值由 减小 １０ ℃ ７５° ｈ ℃ ７３×１０ ℃ ２０° ｈ ℃ ０℃ ８９．５９ｍＶ 到 ，标度因数和零偏的温度系数分别减小了 和 。得到的结果证明了补偿方法的正确性和可行性。 ７．３３ｍＶ ８０％ ７３％ 关 键 词：硅微机械陀螺仪；测温电路；温度补偿；标度因数；零偏；热敏电阻 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ Ｕ６６６ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ３１１８ 　　 　　 犜犲犿 犲狉犪狋狌狉犲犮狅犿 犲狀狊犪狋犻狅狀狅犳犿狅狀犻狋狅狉犻狀 犮犻狉犮狌犻狋 狆 狆 犵 犳狅狉狊犻犾犻犮狅狀犕犈犕犛 狉狅狊犮狅犲 犵狔 狆  ， ， ， ， ＣＡＯＨｕｉｌｉａｎ ＬＩＨｏｎｓｈｅｎ ＷＡＮＧＳｈｏｕｒｏｎ ＹＡＮＧＢｏＨＵＡＮＧＬｉｂｉｎ ｇ ｇ ｇ