掩膜版(mask)的制造.pdf

掩膜版（掩膜版（maskmask）的制造）的制造 2016-05-08 目录 1 净化车间相关基础 2 掩膜版制作流程 3 其它相关内容 1.净化车间相关基础 洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或净化车间。 「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有 害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室 内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控 制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。 亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能具有 维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特 性。 目前公司光刻室温度控制在23±0.5℃、其它洁净室温 度控制在23±1℃，相对湿度控制在45% ～70%RH。 1.净化车间相关基础 洁净室洁净度等级的定义 洁净度等级（Class） 目前有公制和英制两种定义方式 1）公制定义方式：每立方米空气中含有大于或等于直径为0.5цm的 尘粒总数，用10m表示。如果无尘室每立方米空间含有大于或 等于直径为0.5цm 的尘粒1000粒，10m=1000=103，那么该无 尘室就被称为M3级。 2 ）英制定义方式：即直接用该区域每立方英尺空气中大于等于直径 为0.5цm的尘粒个数作为定义标准。 ISO14644-1标准 1.净化车间相关基础 ISO14644-1标准 1级 10级 1 100级 10 1000级 100 10000级 1000 10万级 10000 单位换算： 1m3=35.3ft3 ；1ft3=28.3L ；New Way使得的粒子计数器是 吸气量2.83L/Min； 各行业对洁净室等级要求存在较大差异；（如LCM、LCD、IC等） 感性认知 一般自然界气体等级 外大气层 1,000 大气层 10,000 田园地带 100,000 街市区 1,000,000 工业地带 10,000,000 理性认知 1.净化车间相关基础 1.净化车间相关基础 HEPA （High Effucency Particulate Air-filter）（FFU） 0.3um的微粒子捕捉率至少为99.97%； ULPA （Ultra Low Particulate Penetratio