一种新型的大行程XY柔性并联微定位平台.pdfVIP

第25卷第4期 常州大学学报(自然科学版) V01．25No．4 2013年10月 Journalof ScienceEdition) 0et．2013 ChangzhouUniversity(Natural 文章编号：2095—0411(2013)04-0014—06 一种新型的大行程XY柔性并联微定位平台 李振国，于靖军 (北京航空航天大学机械工程及自动化学院，北京100191) 摘要：大行程高精度柔性并联微定位平台的需求与日俱增。提出了一种新颖的大行程XY柔性并联微定位平台，它具有镜面对 称的结构和冗余约束特性，镜像对称结构能够很好地约束了面内寄生转角和交叉轴耦合，冗余约束在提高系统刚度的同时还降 低了运动平台的质量。建立了柔性徽定位平台的柔度矩阵模塑，用于确定尺寸参数。最后，通过有限元模型分析，并与理论模 型对比。结果显示本文所设计的柔性并联微定位平台具有如下特点：20mmX20ram的大运动行程，两运动轴之间具有较高的 解耦度，很好地约束了面内寄生转角，其值小于17．76扯rad。 关键词：XY柔性并联微定位平台；大行程；交叉轴解耦；柔度矩阵 11z 中围分类号：TH 文献标识码：A doi：10．3969／j．issn．2095—0411．2013．04．003 ANovel XY Parallel Large—RangeCompliant LIZhen—guo。YU Jing-jun (SchoolofMechanical and ofAeronauticsand EngineeringAutomation，BeijingUniversity Astronautics， 100191，China) Beijing Abstract：Theneedforfl micro motion compliantparallelpositioningstage(CPMS)providinglarge range and is anovel XYCPMSwithflmirror precision high increasing．Thispaperpresents largerange symme— structureandaredundantconstraintcharacteristic．Themirror structurecanwellconstraint try symmetry in andcrossaxis redundantconstraint outof stiffness parasitic plane angle coupling．The improvesplane andreducesthemassofamotion matrixmodelsforthe XYCPMSis stage．Thencompliance 1argerange andusedfor the thefiniteelement presented determininggeometricalparameter．Finally