压电陶瓷电机驱动的三维微动定位平台及验证.pdfVIP

第37卷第6期 压电与声光 V01．37No．6 2015年12月 PIEZOELECTRICSACOUSTOOPTICSDec．2015 文章编号：1004—2474(2015)06—1030—04 压电陶瓷电机驱动的三维微动定位平台及验证 林海波1，杨国哲2 (1．台州职业技术学院机电工程学院．浙江台州318000；2．沈阳工业大学机械工程学院，辽宁沈阳110023) 摘要：压电陶瓷电机具有高分辨率和压电驱动装置的动态特性，具有体积小、结构紧凑、成本低、输出力大、 响应快、精度高、无电磁干扰等特点，但存在滞后误差、垂向位移误差，行程短的问题，尤其在电极损耗后，补偿量增 大，严重影响了定位精度和难以满足三维加工的工作要求。该文通过对压电陶瓷电机驱动的百毫米以上超精密加 工三维结构平台的性能研究，采用宏微双驱动协调控制，实现大行程和小步距的有机结合，对微动精密工作台性能 进行实验，得到了平台运行的特性曲线。结果表明该机构的动态性和稳态性能良好，实现超低速、响应快、超高分 辨率、高精度的双向步进运动，可以达到亚微米至纳米量级的定位精度，满足极微细电火花加工的高精度要求，为 进一步研究压电陶瓷电机在超精密运动系统的应用、提高系统的定位精度，提供科学依据。 关键词：压电陶瓷电机；微细加工；三维微定位；最小步进；大行程 中图分类号：TN304．9 文献标识码：A ResearchonaPrecision Basedon PositioningStage PiezoelectricActuatorsandit’SValidation LINHaib01．YANG Guozhe2 ofMechanicalandElectrical VocationalTechnical318000。China； (1．Department Engineering，Taizhou College，Taizhou 2．SchoolofMechanical of 110023，China) Engineering，ShenyangUniversityTechnology，Shenyang Abstract：Ultrasonicmicro-motoralotof as gathers advantages，suchhighresolution，gooddynamicperform— ance，small structure，low andnoelec— volume，compact cost，highoutputforce，quicklyresponse，highprecision interferenceetc．However，ithassome asvertical error，andsmall tromagnetic shortcomings，suchdisplacement，lag those have affectiononthe and3D travel，especiallyshortcomingsmanyseriously positioningaccuracy processing becauseof afterelectrodeloss．Bas