福背散射分析.pptVIP

卢瑟福背散射分析Rutherford Backscattering Spectrometry（RBS） 2.1 背散射研究的发展史 1909年，盖革（H. Geiger）和马斯顿（E. Marsden）观察到了α粒子散射实验现象 1911年，卢瑟福（Lord Ernest Rutherford）揭示了该现象，并确立了原子的核式结构模型 1957年，茹宾（Rubin）首次利用质子和氘束分析收集在滤膜上的烟尘粒子的成份 1967年，美国的测量员5号空间飞船发回月球表面土壤的背散射分析结果 2.2 卢瑟福背散射分析的原理 RBS是利用带电粒子与靶核间的大角度库仑散射的能谱和产额确定样品中元素的质量数、含量及深度分布。该分析中有三个基本点，即： 运动学因子—质量分析 背散射微分截面—含量分析 能损因子—深度分析 2.3最佳实验条件的选取 由背散射的原理可导出最佳的实验条件： 质量分辨 含量分辨 深度分辨 2.4实验设备 一台小型加速器，目前实验式采用2X1.7MeV串列加速器（如图） 2.4实验设备 电子学探测系统 2.5背散射能谱和产额 薄靶 单元素 多元素 厚靶 单元素 多元素 2.6 RBS技术的应用 表面层厚度的分析 杂质的深度分布 应用于阻止本领测定 利用共振背散射探测重基体上得轻元素 结束 2.2.1 运动学因子—质量分析 运动学因子的定义： K=E1/E0，