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DSS炉系统概貌 Plot Data Button 可按窗口右下方的图标标志进入此窗口 Plot Data Screen （Heat） 这个趋势窗口显示5个小时的8条实时曲线，可以观察功率、3个热电偶温度、炉内压力、隔热区位置、硅溶化pyrometer的值及红色警示灯。每个曲线都可以在某个特别或干扰处放大倍率或出出现异常情况的分析。Historical Function也可观察之前5小时所记录的资料，以分析之前过程。 记得在选择其它窗口前要执行实时的撷取资料。 Plot Data Screen (Melt End) 下面的窗口显示了典型的溶化结束曲线。 Melt Pyrometer的位置显示在窗口中—绿色表示Melt Pyrometer正在观察硅溶化。 DSS炉系统概貌 DSS炉系统概貌 Melt and Growth End Trend Screen 下面的窗口可得到第二个趋势图。 这里显示了更多的功率和DS-Block温度细节，使确定溶化结束或角部晶生长结束更容易，等等。这些曲线的斜率和它们当前的数值也显示出来，可以和主参数表的trigger值相比较。为了帮助确定结束点，趋势图的比例可扩大或缩小。 DSS炉系统