尾气回收6操作规程(R0)word03.docVIP

四川新光硅业科技有限责任公司操作规程文件 尾气回收-6（技改新建）操作规程 版次 A/0（初版） 编制 日期 审核 日期 批准 日期 发布 实施 四川新光硅业科技有限责任公司技术中心  1.0 工艺说明 5 1.1 尾气冷凝 6 1.2 压缩 6 1.3 吸收和脱吸系统 6 1.4吸附系统 7 1.5设计依据 8 2.0 开车准备 10 2.1 填料装填 11 2.2 泵 11 2.3 填装及干燥吸附套件 11 2.4吸附柱填装活性炭 12 2.5用氮气吹扫系统 12 2.6压缩机 13 2.7校正仪表 13 2.8检查逻辑程序 13 2.8.1阀门自动/手动 13 2.8.2时序自动/手动 14 2.8.3下一步（步进） 14 2.8.4步骤未完成报警 15 2.8.5阀门状态报警 15 2.8.6系统停车，ESD 15 2.8.7降压程序 15 2.9检查时序控制 16 2.10检查紧急停车系统 17 2.11公用工程 18 2.12制冷系统抽真空并填充制冷剂 18 2.13 保温 18 3.0 开车 19 3.1用氮气置换 20 3.2干燥吸附柱（见操作说明，5.3步骤清单） 21 3.4干燥氢压机 23 3.5用氢气置换氮气 23 3.6 T-602，T-603充填氯硅烷 24 3.7 启动压缩机 24 3.8 建立氯硅烷循环 25 3.9 制冷系统 25 3.10 建立氯化氢脱吸塔T-603的温度 25 3.11 增加尾气进气量系统正常接收尾气 27 4.0 停 车 28 4.1 过程故障（短期故障） 29 4.2 长期故障 29 4.3正常停车 30 5.0 操作程序 32 5.1压缩机启动顺序 33 5.2活性炭装载程序 34 5.3活性炭干燥程序 36 6.0 控制条件 40 6.1主要控制参数及连锁条件 42 6.2系统报警和复位 47 6.2.1压缩机进气温度报警 47 6.2.2膨胀罐D-605液位报警 47 6.2.3氯硅烷缓冲罐D‐601液位报警 48 6.2.4氯硅烷分离罐D‐602液位报警 48 6.2.5 氢气压缩机 C‐601A/B/C报警 49 6.2.6脱吸塔压力报警 50 6.2.7氯化氢回流罐液位报警 50 6.2.8 HCl电加热器温度报警 51 6.2.9热流体电加热器E‐612温度报警 51 6.2.10氯硅烷循环管路 52 6.2.11 ESD系统停车 53 附1:吸附柱时序图 54 附2 :管道仪表流程图（PID） 57 1.0 工艺说明  还原尾气回收系统接收CVD还原炉产生的尾气并将其分离为液态氯硅烷、氢气和氯化氢。高纯的回收氢气返回系统使用（总杂质1ppm）氯化氢气体和液态氯硅烷返回到其它工序。氮气、甲烷和其它的污染物不能被尾气回收系统分离。 1.1 尾气冷凝 尾气进入系统经过一系列换热器，这些换热器大部分的氯硅烷冷凝。气-气换热器E-602，将尾气冷却到~25℃同时热进入尾气压缩机的气体。‐15°C换热器E-604冷凝出部分氯硅烷液体并将其排入氯硅烷分离器D-602进行气液分离。分离出来的液态氯硅烷进入缓冲罐D-601，氢气、氯化氢和未被冷凝的氯硅烷被送到‐46°C换热器E-605，在换热器中氯硅烷进一步被冷凝冷凝后的气液混合物仍然被送到分离器D-602进行气液分离。 1.2 压缩 尾气进入回收系统压力为4 kg/cm2‐G回收系统的设计操作压力为11 kg/cm2‐G，该压力为单级压缩机出口最高压力（温度）机械设计压力为18.3 kg/cm2‐G。 1.3 吸收和系统 吸收和系统采用低温氯硅烷液体溶解氯化氢，从而减少活性炭吸附柱。 在氯化氢吸收塔T-602中，气与40°C主要成分为为三氯硅烷和四氯硅烷的液体接触，99%的氯化氢被氯硅烷吸收。吸收了氯化氢的氯硅烷（富液）从吸收塔底部被送到氯化氢脱吸塔T-603。T-603通过蒸馏氯化氢，顶部回流D-607中被分离，D-607控制温度为-40°C。D-607中的液体进入氯化氢加热器E-617被加热到20°C气化后送到下游工序。 尾气的成分决定循环氯硅烷的成分。根据T-603底部液位计的液位控制返回T-602的氯硅烷量。气流量的波动不会对系统造成大的影响即使气体流量远低于设计值系统可以按照设计值平稳运行。 脱吸塔T-603氯硅烷的流量和温度流量和温度是氯化氢脱吸塔的主要热负荷。氯化氢量