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基于MEMS的微电容式无线加速度传感器的研究
( )
传感器与微系统 Tran sducer and M icro system Techno logie s 2007年 第 26卷 第 6期
49
前沿技术
基于 M EM S的微电容式无线加速度传感器的研究
1 1 1, 2
王少华 , 李宏伟 , 欧进萍
( 1. 哈尔滨工业大学 ,黑龙江 哈尔滨 150090; 2. 大连理工大学 ,辽宁 大连 116024)
摘 要 : 介绍了一种基于 M EM S技术制作的微电容式无线加速度传感器的设计与实现 。研究了无线加速
度传感器的整体设计方案 ,给出了硬件电路设计和软件设计过程 ,并实现了原型产品的调试与制作 。为验
证原型产品的有效性 ,将其安装在实际桥梁上进行振动测试 ,给出了数据分析计算结果 。
关键词 : 无线加速度传感器 ; 振动测试 ; 桥梁监测 ; 斜拉桥
中图分类号 : TM 98; TU 3 文献标识码 : A 文章编号 : 1000 - 9787 (2007) 06 - 0094 - 03
Research on m icro capac itive w ireless accelerom eter
ba sed on M EM S
1 1 1, 2
WAN G Shaohua , L I Hongwei , OU J inp ing
( 1. Harb in In stitute of Technology, Harb in 150090, Ch ina;
2. D a lian Un iversity of Technology, D a lian 116024, Ch ina)
A b stract: The design and imp lem entation of a m icro cap acitive w irele ss accelerom eter ba sed on M EM ES is
p re sented. The fram ework of the w irele ss accelerom eter is studied, and the design of the hardware and software is
de scribed. A p rototyp e of the p ropo sed w irele ss accelerom eter is set up and fabricated. To te st the validity of the
p rototyp e p roduct, it is in stalled on a cab lestayed b ridge to m easu re the vibration of the b ridge. The re su lts of the
analyzed data are then p resen ted.
Key word s: w ireless accelerom
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