纳米压痕法表征压电薄膜-纳米带的力电耦合性能.pdf

纳米压痕法表征压电薄膜/纳米带 的力电耦合性能 答 辩 人：郑 辉 指导老师：郑学军 教授 专 业：微电子学与固体电子学 课题来源： 国家自然科学基金(Nos50872117) 长江学者奖励计划([2009]17) 硕士毕业答辩 内容提要 • 1. 研究背景 • 2. PZT薄膜的力电耦合参数 • 3. 纳米带宽厚比对其杨氏模量的影响 • 4. 横观各向同性纳米带的弹性参数 • 5. 总结与展望 • 6. 致谢 2 硕士毕业答辩 1. 研究背景 • 1.1 微纳电子材料的应用 微纳电子材料广泛应用于： 日常生活、工业生产、国防科技 等各个领域。随着科技的进步， 材料的应用维度越来越低。纳米 薄膜(二维)和纳米带(一维)是典 型的低维材料。 3 /htmlnews/2003/05/20/159912.htm 硕士毕业答辩 • 1.2 微纳电子材料的力学表征 无论用于结构或者功能元件，低维微纳电子材料的力学性能对 于其应用都具有相当重要的意义。 基本力学性能：杨氏模量、屈服强度、硬化指数[1, 2] 其他力学属性：残余应力、断裂韧性、压电、界面结合性能[3-5] 非接触式：布里渊散射，声表面波法[6] 研究方法 接伸法 接触式 纳米压痕技术 快速、简单、样品尺寸要求小 [1] Y. G. Liao, Y. C. Zhou, Y. L. Huang et al. Mech. Mater. 2009, 41: 308-318. [2] M. H. Zhao, X.Chen, Y. Xiang et al. Acta Mater. 2007, 55: 6260-6274. [3] X. J. Zheng, J. Y. Li, Y. C. Zhou. Acta Mater. 2004, 52: 3313–3322 [4] X. J. Zheng, Y. C. Zhou. Acta Mater. 2003, 51: 3985-3997. [5] X. J. Zheng, Y. C. Zhou. Compos. Sci. Technol. 2005, 65: 1382–1390. 4 [6] D. C. Hurley, V. K. Tewary, A. J. Richards. Meas. Sci. Technol., 2001, 12: 1486-1494. 硕士毕业答辩 • 1.3 纳米压痕简