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大功率微波真空电子学技术进展-北京玛格泰克科技发展有限公司
3 V ol. 34 N o. 3
2006 3 ACTA ELECTRON ICA SINICA M ar. 2006
廖复疆
(, 100016)
: ,
, 30.
(M PM );
, .
: ; ; ;
: TN72 : A : ( 2006)
T chnicalAdvanc of th Vacuum M icrowav El ctronics
LIAO Fujiang
( The E lectronic 12th Institute ofCETC, Beijing, 100016, China)
Abstract: The advance of the vacuum m icrowave electronics in recent 10 years has been described in this pa
per. The vacuum m icrowave electron dev icesw ill continue to be used in the defense e uipm ents in the future 30 years
andmore longer. The high powerTWTs, m icrowave pow ermodules (MPM) , multibeam klystrons, gyrotrons and vac
uum m icroelectron devices are still the key devices form ilitary e uipm ents. The combination orm ix ing of the vacuum
electron devices and sem iconductor dev ices w ill create a new generation of high power m icrowave electron dev ices,
which w illhave features from both sides.
K y words: high power; m icrow aves; vacuum; electron device
2
1 680A / cm ,
10A / cm2 [11~ 13] . MEMS LIGA
1906 100
, , ,
[ 14]
.
,
. 2
, 30 .
[1, 2]
, . , ,
, 3 .
. , ,
, . 1
.
94GHz , 300GHz
500GH z, 2 ~
[1, 3] [ 4]
18GHz , 10% .
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