掺铒波导放大器中光强对增益影响地的研究.pdfVIP

点，并且有体积小，集成程度高，性能可靠，成本低的众多优点。 相比 EDFA，掺铒玻璃衬底波导放大器固有的特点是结构紧凑。它不需要像 EDFA 一样要数以米计的掺铒光纤来实现光的放大，并且能够集成多种功能，其 小巧的尺寸很适合于有限的空间。另外，在城域网和局域网应用中，EDWA 可以 提供比EDFA 更好的性能价格比。虽然对性能要求较高的主干网传输而言，EDFA 仍有一定优势，但EDWA 的持续发展将逐步缩小二者的差距。EDWA 的性能参数如 下：峰值波长可获得22dB 增益，噪声系数为6dB，输出功率为15dBm （TEEM 公 司掺铒波导放大器DWDM 系列）。相对于半导体光放大器等，EDWA 的优点还在于 它继承了EDFA 的一些基本特性，如：低噪声系数、较小的偏振相关性以及不存 在通道间的串扰等。 EDWA 能够很容易与损耗器件集成在一起，构成无损耗器件，如：无损耗分路 器（splitter）、无损耗相位阵列波导、无损耗分插复用器、调制器、光开关或 者光交叉连接器等。它还有一些其他功能，如在WDM 分插传输系统中用作可变衰 减器或可变放大器来调整信号电平，也可以代替光开关用作路由器件。它已经完 全做好准备满足用户对光器件的飞速增长的需求。不过，波导技术的真正突破还 在于EDWA 的最新发展，以及它看来较为独特的能力，能够满足城域网市场对高 集成度、高性能和低价格器件的需求。 1.3EDWA 的制作工艺 制备掺铒玻璃波导的方法有[2]：PECVD、加热水解沉积法、溅射沉积法、离子 交换法以及离子注入法等，其中广泛使用的最先进的两种方法是离子交换法和溅 射法。 离子交换法制作过程包括两个主要步骤： a.制备基片材料：在用标准的熔化工艺制备玻璃基片过程的初期，加入氧化 铒粉末，从而形成掺铒玻璃。目前,有硅酸铝和磷酸铝两种类型的氧化物玻璃用 于制作波导放大器。这些玻璃的优点在于它们能够接受非常高的铒掺杂率（超过 26 3 10 原子/m ），比用硅玻璃至少要高两个数量级。在制备这些玻璃的过程中，要 特别小心消除OH-杂质，否则会影响铒离子的荧光寿命。 8 b.制作波导：用离子交换技术可以在氧化玻璃基片上制作出光波导被埋于玻 璃表面下几微米处，这样可以保证它们的稳定性，并使性能得到优化。由于波导 不再与基片表面相接触，所以具有较低的传输损耗和偏振相关性，从而支持限定 的光导波模式；同时，也能够与光纤较好地兼容连接。采用离子交换法制作的波 导可以获得与发光材料相同的光谱特性。 另一种有前途的制作掺铒玻璃波导的方法是溅射沉积技术。目前，朗讯公司 正在开发溅射技术。该技术是通过离子束的辐射，将块状玻璃上的离子溅射出来， 从而在硅晶样品表面沉积上形成一层掺铒玻璃薄膜，再经过刻蚀工艺，这层薄膜 就形成条形光波导。光波导在覆盖层的保护下，可以在较低的传输损耗下支持高 度约束的光波导模式。被溅射的材料与原材料相比，可以有不同的光谱特性。 到目前为止，在这两种方法中，只有离子交换法已经成熟，可以应用于波导 产品的制造，也是本文在研制EDWA 时所采用的工艺方法。我们选择镱铒共掺含 钠磷酸盐玻璃作为制作离子交换光波导的衬底材料，该玻璃是由磷氧化物形成的 网格结构，网格的间隙中有金属或非金属离子，其中Na+的含量较大，当玻璃处 于一定的高温状态时，Na+可以在网格中自由移动，此时，将玻璃置入一种含其 他一价阳离子（如Ag+ + + 、K 、Cs 等）的熔融盐中，熔盐中的一价阳离子会由于扩 散作用从玻璃表面进入网格，而同时网格中的Na+会有一部分扩散到熔盐中，这 就是离子交换过程。由于整个过程网格结构要保持电中性，所以外面的一价阳离 子和Na+是一对一的交换。扩散进入玻璃的离子按一定的规律分布于玻璃网格中， + + + Ag 、K 、Cs 等离子的引入会导致玻璃局部的折射率增加，形成高折射率光波导 区。 实验中我们通常采用二次离子交换制作埋入式波导，即在把已经做过离子交 + + + 换的衬底置入纯的Na+熔盐中再次进行离子交换，使衬底里的Ag 、K 、Cs 等离 子发生反扩散。通过二次离子交换的方式可以把衬底折射率最大值处埋入衬底表 面以下，形成埋入式波导，具