第九章+其他显微分析方法简介.pptVIP

第九章 其它显微分析方法简介 内容提要： 第一节 X射线光电子能谱(XPS) 第二节 扫描探针显微镜(SPM) 第一节 X射线光电子能谱 引言 一、基本原理 二、X射线光电子能谱仪 三、X射线光电子能谱分析方法 四、XPS的特点及应用 引言 1、表面及表面分析的特殊意义 （1） “表面”的概念：把一个或几个原子层厚度的表面相称为“表面”。 表面相的特殊性在于它所处的环境与基体不同。 表面具有与基体不同的力学、光学、磁学、电学和化学性能，以致影响材料的整体性能。 （2） 通过表面分析，可以获得许多重要信息：① 表面的化学过程信息；如腐蚀、吸附、氧化、钝化等； ② 表面微观形貌特征信息； ③ 表面成分信息，包括元素种类、含量及其分布规律等； ④ 表面电子结构、化学价态、功能团的种类与分布等信息。 2、表面分析技术 表面分析技术：指通过一个探束(光子或原子、电子、离子等)或探针(机械加电场)去探测样品表面，并检测从样品表面发射及散射的各种物理信号，从而对样品表面特性、表面现象进行分析和测量的技术。 表面分析技术的发展与材料科学的发展密切相关，它们相互促进。 表面分析技术发展的两个最主要的条件是： ① 超高真空技术的发展； 表面分析所涉及的深度很浅，一般为微米级，有时仅指表面单个原子层或几个原子层。 (扫描探针显微镜除外) ② 各种弱信号检测技术的不断出现。 此外，需要电子及计算机技术的突破性进展。 表面分析方法 目前，用于表面分析的最常用仪器： X射线光电子能谱仪（XPS） 俄歇电子能谱仪（AES） 低能电子衍射仪（LEED） 扫描隧道显微镜（STM） 原子力显微镜（AFM） 等。 3、电子能谱分析 电子能谱的基本原理：用X射线、紫外光或电子束等照射样品，使样品中原子或分子的电子受激发而发射出来，测量这些电子的能量分布，从中获得所需的信息。 常用的电子能谱分析方法： 4、X射线光电子能谱的发现 在对硫代硫酸钠(Na2S2O3)的研究中观察到化学位移效应。 如图：XPS谱图中出现两个完全分开的S2p峰，而且两峰的强度相等：但在硫酸钠（Na2SO4）的XPS谱图中只有一个S2P峰， 表明：Na2S2O3中的两个硫原子(+6价和-2价)的化学环境不同造成了内层电子结合能相当显著的化学位移，在电子能谱图上亦清楚可见。 一、基本原理 周期表中每一种元素的原子内层的电子结合能是特征的，用XPS测得原子内层的电子结合能就可以获得元素定性分析的信息。 X射线光电子能谱： 以特征X射线为光源，激发样品芯能级，产生光电子发射，通过检测分析其能量，进而识别样品的成分与结构。 1、光电效应 物质受光作用放出电子的现象称为光电效应 。（如图） 在光激发下发射的电子，称为光电子。 当一束能量为hν的单色光与原子发生相互作用，而入射光量子的能量大于激发原子某一能级电子的结合能时，此光量子的能量很容易被电子吸收，获得能量的电子便可脱离原子核束缚，并带有一定的动能从内层逸出，成为自由电子。 在光电效应过程中，根据能量守恒原理： h?＝ Eb＋ Ek 式中， Eb—电子的结合能； Ek—电子动能。 电子结合能 Eb的物理意义（介绍两种情况）： ① 对孤立原子或分子，Eb指某壳层电子激发为真空中自由的静止光电子所需要的能量； ② 对于导电固体样品， Eb指固体样品中某内层电子跃迁到费米能级所需要的能量。 因此，对于导电固体样品： h?＝ Eb ＋ ? ＋ Ek X射线能量(h?)用于三部分（如图）： ① 内层电子跃迁到费米能级，即克服该电子的结合能Eb； ② 电子由费米能级进入真空成为静止电子，即克服功函数? ； ③ 自由的光电子的动能Ek 。 2、测试原理 样品材料的功函数(?)和谱仪材料的功函数( ?‘)不同。 对于导电的固体样品，当样品和谱仪的电接触良好时，二者的Fermi能级是一致的。 当光电子离开样品表面进入仪器系统时，由仪器直接测定的电子的动能为Ek Ek′=Ek ＋(?-?) =h?-Eb- ?‘ ?‘对每台仪器通常是一个定值（约4eV）,与样品无关。 即测量出光电子的动能Ek ，就能计算出Eb 。 各种原子、分子不同轨道电子的结合能是一定的，具有标识性，所以光电子的能量具有特征值； 此外，同种原子处于不同化学环境也会引起电子结合能的变化。 XPS 的有效探测深度，对于金属和金属氧化物是0.5～2.5nm,对有机物和聚合材料一般是4～10nm。 因此，可根据光电子谱线的峰位、高度及峰位的位移来进行样品表面元素的分析、原子价