四氟化硅的工艺研发及进展状况-多氟多化工股份有限公司.PDF

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2018-08-17 发布于天津
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四氟化硅的工艺研发及进展状况-多氟多化工股份有限公司

无机盐工业第 45 卷第 1 期 4 INORGANIC CHEMICALS INDUSTRY 2013 年 1 月四氟化硅的工艺研发及进展状况韩建军李霞王建萍，，多氟多化工股份有限公司河南焦作（， 454191 ）摘要四氟化硅是电子工业中的一种重要原料随着多晶硅等行业迅猛发展需求量逐渐增大详细介绍了四：，。氟化硅的应用及市场情况并对氟气合成法氟硅酸盐热解法硫酸法氢氟酸直接反应法这种主要生产方法进行，、、、 4 详细论述讨论了各工艺方法的生产原理工艺简述研究状况并对工艺的优缺点进行了评价就目前市场形势分，、、。析国内四氟化硅需开发高端产品以适应市场需求和参与国际竞争，，。关键词四氟化硅氟硅酸氢氟酸氟气：；；；中图分类号：文献标识码：文章编号：（） TQ127.2 A 1006-4990 2013 01-0004-04 Research and development on process of silicon tetrafluoride and the progress thereof ，， Han Jianjun Li Xia Wang Jianping （，，，） Do-Fluoride Chemical Co. Ltd. Jiaozuo 454191 China ： Abstract Silicon tetrafluoride is an important raw material in the electronics industry.Its demand gradually increases with the rapid development of polysilicon and other industries.Applications and market conditions of silicon tetrafluoride were intro- ，