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利用Ni催化型探测器测量原子氧密度.pdf
第40卷 第8期 金属学坂 V61．40No．8
2004年8月791～794页 ACTAMETALLURGICASINICA Aug．2004PP．791—794
利用Ni催化型探测器测量原子氧密度
多树旺 李美栓
(中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室，沈阳110016)
摘 要 利用Ni催化探测器标定了地面模拟空间原子氧环境设备的原子氧密度．原子氧源是利用微波ECR耦合02气放电
生成氧等离子体产生的．纯Ni圆片在原子氧环境中首先暴露30min，使其表面充分活化形成一层Ni0．探测器活化后测量其在
Par一10—2Pa之
不同条件下原子氧环境中暴露时的温度变化．发现原子氧密度与气压和探测器轴向位置有关．当气压从10—5
间变化时原子氧密度在10”一10“m。之间变化．采用聚酰亚胺侵蚀法测得的原子氧密度与Ni探测器确定的基本一致．
关键词 原子氧，Ni，探测器，原子氧密度
中图法分类号TG216．5 文献标识码A 文章编号0412～1961(2004)08—0791一04
DENSITY
MEASUREMENToFAToMICoXYGEN
BYANiCATALYTICPRoBE
DUO Meishuan
Shuwang．LI
for ofMetal Chinese
National Materials ofSciences
Shenyang Laboratory Science，InstituteResearch，TheAcademy
110016
Shenyang
Correspondent：DU0
NationalBasicResearchand
Supportedby Key DevelopmentProgrammeo{ChinaNo．
received revisedform2003-11—10
Manuscript2003-07-31，in
ABSTRACTANi wasusedtodeterminethe of atomsina
catalyticprobe densityoxygen ground—
basedatomic simulation atomic isalow
oxygen facility．Theoxygen(AO)sourceoxygenpressure
A was
ionized microwaveECR nickeldisk toatomic
inductivelycoupled plasma．virgin exposed
environmentfor30minforfullactivationtoforma NiO．Aftersuccessfulactivation．
laver
oxygen
the ofthenickel toatomic WaSmeasuredatdifferent
temperature probeduringexposures oxygen
conditions
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