第四章 固体中及扩散2 - 副本.ppt

又因为 所以 上述解答过程中所做的主要假设有： i.在磷（P）扩散到硅圆片的过程中D的值保持不变； ii.P的扩散是一维扩散。 高斯误差函数表 例题3 Zn2+在ZnS中扩散时，563°C时的扩散系数为3×10－4 cm2/s；450°C的扩散系数为1.0×10－4 cm2/s，求 （1）扩散活化能和Do； （2）750°C时的扩散系数； （3）根据你对结构的了解和活化能大小的数据，请从缺陷扩散的微观机制来推断激活能的含义； （4）根据ZnS和ZnO相互类似，预测D随硫分压而变化的关系。 解：（1）由D=D0exp(-Q/RT)， 有lnD=lnD0-Q/RT ln(3×10－4 )=lnD0-Q/R(563+273.2) (1) ln(1×10－4 )=lnD0-Q/R(450+273.2) (2) 解方程组得：Q=48.9kJ/mol D0=0.34 （2）750度时的扩散系数： D=D0exp(-Q/RT)=0.34exp[-48900/8.314(750+273.2)] =1.08×10-3(cm2/s) （3）从计算的结果看，扩散活化能为48.9kJ/mol，扩散活化能比较小，因此锌的扩散是通过间隙锌进行扩散的。扩