利用为电火花进行微纳米级订单规模加工的实验尝试.docVIP

利用微电火花进行微纳米级订单规模加工的实验尝试 中国北京清华大学,国家重点摩擦实验室,精密仪器系100084 日本东京,东京农业机械大学机械工程系 摘要：迄今为止，部分大于几个微米的加工可以由微型电火花加工（micro-EDM）然而，随着日益增长的需求更小的部分，各个工业领域越来越需要亚微米加工，甚至纳米加工为了满足这些要求亚微米生产研究已相当重要在本研究中，实验亚微米订单规模的加工利用微细电火花加工完成，其中最小的大小，可以实现对机械零件进行检查，因素影响调查亚微米制造部分结果表明，定位精度不够，最小放电能量和加工形状误差差距控制和热变形不适合亚微米加工碳化钨硬质合金碳化钨硬质合金晶粒尺寸和缺陷颗粒的大小较小如果材料去除率是实现亚微米加工，亚微米加工微细电火花加工亚微米加工破坏臭氧层放电坑残余应力定位精度除了传统的精密产品，如照相机手表医疗设备领域，通讯，数据处理，空间设备等，微型零件越来越宝贵，因为它们可以提供更多的功能，在有限的空间这导致了小型部分的要求日益增长特别是不断发展的微电子机械系统（ MEMS ）需要的增长，各部门亚微米甚至纳米为了满足这些要求，亚微米制造研究已变得很重要。由于微放电加工（micro-EDM和处理任何无论硬度的导电材料它已成为制造微米零部件一个最重要方法然而，，虽然众多的研究和发展活动集中于各种应用微细电火花加工，尚未利用微电火花加工亚微米制造可行调查。 2.微电火花加工的最小尺寸 在杂散电容为10pF,条件如表.1所示的条件下，对加工钨棒能够达到最小尺寸的部分进行了研究。该WEDG方法用来获取钨微型棒 该机器使用的是交叉ED72W松下电子器件有限公司，该脉冲根子是RC电路和进给系统进给速度控制短路。 的情况下，被加工棒料的直径在每个式样中都不一样并且在轴线方向也很不一致。此外，预先确定的杆长度在加工过程无法获得因弯曲或断裂的抽油杆这些实验结果表明，在目前的亚微米加工是不可能我们调查了以下可能会影响到最低限度可加工尺寸因素工件材料存在的缺陷碳化钨硬质合金（）和超细颗粒制成的碳化钨硬质合金（）也 电极设为阴极（直流加工）。这是因为分配给阳极放电能量通常比对阴极更大 4.1 微电火花的定位精度的影响 在这项研究中，微电火花机器的定位精度被分为两种类型：首次定位精度和重复定位精度。微电火花加工机器有三个轴：X，Y和Z，0.1μm的线性等级。对X轴方向首次定位精度和重复定位精度进行测量。电子千分尺的测量头被安装在X轴上。首次定位精度是在20次返回到加工起始点X=-19.0mm和Y=-3.5mm之后测量的。重复定位精度20次沿X轴来回运动之后测量的。两次测量结果如图.11所示。横轴代表实验序列，纵轴代表从起始点的定位精度。首次定位精度误差为±0.3μm。至于重复定位精度，最大为0.5μm。同时考虑首次定位精度和重复定位精度， 机器的位置误差为1μm，表明这可能是导致棒料在目标要求5μm之下时棒料的直径为什么不同。因此要实现亚微米加工，机器的定位精度必须小于亚微米级。 4.2 加工形状误差 要获得亚微米加工，加工形状精度应低于亚微米级。由于电火花加工是一种非接触式加工，必须避免电极和工件直接接触，因此差距控制保持距离的差距5.对SWC进行亚微米级加工的尝试 从到目前为止的所有结果来看，可以得出这样的结论：由于定位静度，最小放点能量以及因差距控制和热变形引起的形状误差的影响，使用W，WC和SWC进行亚微米级加工是很困难的。无视定位精度和加工形状误差的影响，在材料结构和残余应力方面，WC和SWC要由于W。特别的，SWC的晶粒大小和晶粒缺陷大小均比WC的小，因此更加合适。基于这 些结果，在交流和直流情况下通常采用SWC进行亚微米级加工。加工结果如表.3所示。直流加工中得到的最小帮料为2.8μm。图.13显示了它的照片。另外，为了实现SWC亚微米级加工通常在最后抛光阶段使用交流电如表.3示，因为交流时材料去除率大于直流。不幸的是，使用没有成功的亚微米加工2003CB716204）给予的支持。 参考文献: [1] Taniguchi N. Current status in, and future trends of, ultraprecision machining and ultrafine materials processing. Ann CIRP 1983;32(2):573– 82. [2] Snoeys R, Staelens F, Dekeyser W. Current trends in non-conventional material removal processes. Ann CI