超高纯钛锭-中国有色金属标准质量信息网.docVIP

超高纯钛锭 宁波创润新材料有限公司 2017年月  1、工作简况 1.1任务来源 根据工业和信息化部《2016年第一批行业标准制修订计划》（工信厅科[2016] 75号）精神，项目起至日期为2016年03月～2017年12月，行业标准计划序列号为2016-0199T-YS，技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，起草单位为宁波创润新材料有限公司，宁波江丰电子材料股份有限公司。 钛及钛合金是高化学活性金属，在熔融下极容易与氧、氮等气体反应也几乎与所有的造型材料（如耐火、石墨、陶瓷等）起反应，所以必须在真空或惰性气体保护的水冷铜坩埚中进行熔炼。钛锭熔铸技术难度较大，钛锭生产成本较高。钛锭的生产目前普遍采用多孔疏松状海绵钛经过真空电子束冷床炉、等离子冷床炉、真空电弧熔炼工艺生产。我国钛生产始于1955年。20世纪60年代逐步开始采选、冶炼、加工工业生产初期的生产规模、技术水平、产品档次和质量状况与发达国家比较相差甚远。1990年以来，我国的钛工业得到了迅速发展，现已成为国际最大产能国之一。根据22家企业的统计，2012年中国共生产钛锭6.4927万吨。但是，集成电路用超高纯钛溅射靶材用原材料——超高纯钛锭长期不能实现国产。在国家02科技重大专项支持下，我国超高纯钛提纯和电子束熔炼技术得到很大提升。特别是随着宁波创润钛材料已经在集成电路的批量应用。 随着钛的生产技术发展、应用领域也不断扩大，而作为钛材生产的母体，超高纯钛锭的生产、交易量也急剧增加。目前我国已经具备研制生产超高纯钛锭的能力，产品批量应用于集成电路制造领域，但是我国还没有相关的产品标准，因此需要建立我国超高纯钛锭标准，可促进现有产品质量的提高，确保产品生产、检验和验收的规范统一，以符合国际上的统一标准。 本标准基于国内外相关集成电路用客户的标准，同时根据多年产品的生产经验和使用要求，积累一定数据的基础上制定的，充分考虑了标准的先进性、适用性和可操作性。 1.2 起草单位 宁波创润新材料有限公司，自主设计和制造了全套生产设备，拥有完整的知识产权。公司其核心团队由多名海外归国博士，以及专业领域内的多名高精尖专业人才联合组建团队，形成了在同行业中具有国际影响力的创业团队 超高纯钛产品已经被美国、日本、欧洲以及中国大陆及台湾的主流半导体溅射靶材制造公司认可，并得到批量生产采用。宁波江丰电子材料股份有限公司是国内从事集成电路芯片制造用超高纯度溅射靶材研发生产的基地核心团队多名海外归国博士组成，并引进了多名美国、日本籍专家，形成了在同行业中具有国际影响力的创业团队已被美国、日本、欧洲、韩国、东南亚、中国大陆及台湾的主流半导体公司认可，并得到批量生产采用。江丰电子所从事的产业是国家中长期高科技发展规划所大力鼓励的，研发及产业化项目已经纳入了国家技术创新体系，先后承担了国家863引导项目、863重大专项、科技部02重大专项、发改委重大专项、工信部专项基金项目。 本标准主管部门为中国有色金属工业协会有创润新材料有限公司宁波江丰电子材料股份有限公司起草检索国内外有关技术标准和资料， 2 编制原则和依据 本标准起草单位自接受起草任务后，本标准编制组收集了生产国内外客户要求、国内厂家实际生产水平等信息，初步确定了《集成电路用超高纯钛锭》标准起草所遵循的基本原则和编制依据： 1）查阅相关标准和国内外客户的相关技术要求； 2）根据国内外超高纯钛锭使用企业具体情况，力求做到标准的合理性与实用性； 3）广泛适用，操作可行的原则； 4）有利于创新发展与国际接轨的原则。 编制本标准既考虑到国内外众多客户要求，又考虑到国情力求使材料规范与国外先进材料接轨，使本规范具有广泛的适用性和可操作性。 3 主要内容的分析综述 3.1主要内容与适用范围 本标准规定了超高纯钛锭的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输存贮、订货单（或合同）等内容。 本标准适用于。 本标准针对客户对超高纯钛靶材 3.3 技术要求 3.3.1 成分要求 由于集成电路的集成度越来越高，互联线宽度不断减小，因此对超高纯钛锭提出非常严格的要求，成分和纯度直接影响着电子薄膜性能。电子薄膜用分类按照应用背景纯度主要为99.9%、99.99%、99.999%三种。 超高纯钛锭的尺寸及偏差应符合厂商的要求，否则超高纯钛锭不能使用。本标准中钛锭尺寸偏差参照客户所提供图纸，并有国内先进设备保证加工精度，对尺寸偏差进行加严控制。当客户有新的要求时，双方须进行协商确认后，方可生产，钛锭几何尺寸测量需选取合适工具。 3.3.3外观质量 超高纯钛外观呈银白色金属光泽，无氧化色斑，表面平整，无气孔。 3.3.4 包装 为防止取用和运输过程中发生损伤等引起的质量问题，使用熏蒸木托或木质托盘装载，捆带固定。产品在无风、雨等场所保管。 4 标准水平分析 4.1