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力和扩散机理下外延形貌的演化分析 陈振飞 冯露 赵洋 齐红蕊 Analysisofepitaxialmorphologyevolutionduetostress and diffusion ChenZhen-Fei FengLu ZhaoYang QiHong-Rui 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,138103(2015) DOI: 10.7498/aps.64.138103 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.138103 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I13 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 金刚石表面无定形碳氢薄膜生长的分子动力学模拟 Moleculardynamicssimulationsonthegrowthofthinamorphoushydrogenatedcarbonfilmsondiamond surface 物理学报.2015,64(1): 018102 /10.7498/aps.64.018102 GaN基发光二极管衬底材料的研究进展 ResearchprogressofsubstratematerialsusedforGaN-Based light emitting diodes 物理学报.2014,63(6): 068103 /10.7498/aps.63.068103 异质外延生长中应变对圆形岛形貌稳定性的影响 Straineffectonthemorphologicalinstabilityofacircular island in heteroepitaxy 物理学报.2013,62(23): 238102 /10.7498/aps.62.238102 原子层沉积方法制备核-壳型纳米材料研究 Studyonatomiclayerdepositionpreparationofcore-shell structured nanometer materials 物理学报.2013,62(19): 198102 /10.7498/aps.62.198102 C掺杂TiO薄膜的制备及其第一性原理研究 Depositionandfirst-principlescaculationofcarbon-dopedtitanium monoxide films 物理学报.2013,62(19): 198103 /10.7498/aps.62.198103 物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 13 (2015) 138103 力和扩散机理下外延形貌的演化分析 陈振飞 冯露 赵洋 齐红蕊 (天津市现代工程力学重点实验室, 天津 300072) (天津大学机械工程学院力学系, 天津 300072) ( 2014 年11 月6 日收到; 2015 年1 月29 日收到修改稿) 本文提出了一个新的基于扩散界面的相场模型来描述外延生长中岛的形核、生长及熟化过程. 该模型同 时考虑了弹性场、表面能、沉积、扩散、解吸和能量势垒等热力学及动力学过程对表面纳米形貌的影响. 采用经 典的BCF 模型来描述生长中的扩散形核过程, 而采用一个新的包含弹性应变能的自由能函数, 通过变分得到 一个描述多层岛生长的相场方程, 该方法可以有效地描述外延生长中复杂的外延形貌. 采用有限差分格式对 非线性耦合方程组进行求解. 数值结果显示, 该模型可以真实地再现外延生长中多层岛结构(即山丘状形貌) 的演化过程, 模拟结果与已有实验结果一致. 同时模拟了生长过程中随外延形貌演化而形成的复杂生长应力, 研究表明, 在生长过程中, 岛中存在着复杂的应力分布, 且在岛边界处应力达到局部最大, 这与实验结果定性 一致. 此外, 本文的重要发现是, 外延生长中的应力演化明显地影响原子的扩散过程, 当应力存在时, 外延结 构变化较无弹性场时变快. 该项研究对理解外延生长中各物理机理的协同作用有重要的指导意义. 关