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台阶仪标准作业程序SOP-.pdf
中国科学技术大学 微纳研究与制造中心
USTC Center for Micro- and Nanoscale Research and Fabrication
设备使用标准程序
Standard Operating Procedure
时间：2014 年2 月10 日
设备名称：台阶仪 设备型号：Dektak XT
所处位置：Bay N2 负责人：王胜房
1、 设备描述
用来测量薄（厚）膜台阶高度（纳米、微米级别）的工具。不但可以探测样品表
面形貌和起伏度，还可以测量纳米级样品表面粗糙度。另外，可以测量并分析样品的
三维形貌。
2、安全提示
a. 该设备用电和压缩空气，可能会涉及到某些物理和电的危害。你必须意识到这些
潜在的危害并将其控制到最小。
b. 注意设备上的警告和安全标识，避免这些对人的潜在危害。
3、限制与要求：
a. 必须是培训合格的用户才可使用。
4、辅助条件：
a. 压缩空气。
5、基本术语：
a. Sensor Head and Stylus：A diamond-tipped stylus attached to the sensor head permits
accurate two dimensional surface profiler measurements in a wide range of
applications.
b. R cursor and M cursor ：The red reference (R) cursor and green measurement (M)
cursor in the Data Analysis Display define the portion of the profile trace on which to
calculate analytical functions on the measurement results. You can adjust the
bandwidth at each cursor to average the data points within that cursor’s bandwidth.
6、操作说明
a. 点击unload sample 按钮，此时探针会回到初始位置，载物台自行送出，此时我们
可将需测试样品放入载物台中心位置。
b. 点击load sample 按钮，载物台会自行回到初始位置。
c. 点击tower down,探针运作，压附样品后，弹开。
d. 请参考下图：
中国科学技术大学 微纳研究与制造中心
USTC Center for Micro- and Nanoscale Research and Fabrication
Fig.1 装卸样品
e. 观察影像视窗，调节需测试位置。（手动台手动调节，自动台根据软件调节）。
可参考下图关于自动调节按钮（红色框标示）：
Fig.2 测试位置调节及测量参数设置
f. 进行上图部分紫色框，扫描参数设置。
Measurement Options 部分：
1) Stylus Type → 探针的型号，图中机台的针为12.5um。
2) Length → 扫描长度，扫描范围为50 um to 55 mm，设定勿超过此值。
3) Duration → 扫描时间，建议扫描500um至少10秒，以此类推。
4) Resolution → 分辨率，每秒固定取300个data point ；扫描长度固定，扫描时间越
长者分辨率越佳。
中国科学技术大学 微纳研究与制造中心
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