微系统CAD的研究现状及展望-光学精密工程.PDF

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2018-08-17 发布于天津
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微系统CAD的研究现状及展望-光学精密工程

7 6 Vo l . 7 , N o. 6 1999 12 OP T ICS A N D P RECISION EN GINEERIN G D ecember , 1999 1004-924X 1999) 06-000 1-05 CAD 陈　愚　　钟先信　　黎　凯　　肖沙里重庆大学光电技术及系统开放实验室微系统研究中　　重庆400044) , CA D , CA D , CAD CA D T P 391. 72 A 1 MS : M icro sy st em s M EMS) , , 80 , , , CA D : Com puter A ided Design) M S , MS , CA D , , , Syst em Pl anning , 2000 139 , CA E : Comput er A ided Engineer) CA D 2MS CAD 19 87 T ransducer 87 S . D . Sent ur ia M S-CA D , , , : 1999- 09- 20 : 1999- 10- 18 2 7 CA D CA D , , CA D : 2. 1 1 CA D , , , , CA D , F ig . 1L evels o f CA D system , , 2 , , , : ; , ; ; ; , ; , , Fig. 2Essential st ructure o f co mponent lev el ; 6 : CA D 3 3D , 2. 2CAD CA D , : CA D , ; M ichigan CA EM S , : , , 2. 2. 1MS CAD , - Carnegie Mellon CM U) St anfor d CMU N O DA S v 1. 4 , M S SA BER ) , , , N ODA S , , , N ODA S , , , CMU , M IT ) , M S , Pennsy lvania M IT - , Stanf ord MS CA D FEM