斜切基片上台阶流动生长的YBCO薄膜及BSTYBCO双层薄膜.pdfVIP

第35卷 第4期 稀有金属材料与工程 Vbl．35．NO．4 2006笠 4月 RAREMElALMATERIALSANDENGINEERING 2006 April 斜切基片上台阶流动生长的YBCO薄膜 及BST／YBCO双层薄膜 王天生1，田永君1，彭炜2，漆汉宏1，李林2 (I．燕山大学亚稳材料制备技术与科学重点实验室，河北秦皇岛066004) (2．中国科学院物理研究所超导国家重点实验室，北京100080) LaAl03单晶基片上生长了Ba01Sro 果表明，在1。～3。斜切的SrTi03基片上生长的YBa2Cu307．J薄膜，呈现台阶流动(stepflow)到三维岛状生长的转变： K，1 外延生长的Bao1Sro9Ti03／YBa2Cu307．J双层薄膜。在77MHz频率和±30V直流偏压下，测定了其电容一电压特性， 确定其介电常数、可调谐性和品质因数分别为1200，60％和133。表明该Bao1Sro。Ti03薄膜可应用于在液氮温度下工作 的可调谐微波器件。 关键词：YBa2Cu307一J超导薄膜；BaolSro9Ti03／YBa2Cu307．J异质结构；外延生长；脉冲激光沉积 中图法分类号：0484．1 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2006)04．0542—04 1 引 言 超导与铁电材料的结合在微波频率达到几百GHz 时使用的可调谐滤波器、延迟线和移相器制造中受到 了极大的关注。主要要求是铁电层的低介电损耗和高 介电非线性以及高温超导体在超导转变温度以下具有 薄膜和平滑、明锐的界面，测定了其基本微波性能。 低的高频损耗。BaxSrl．。Ti03(BST)是一种很好的铁电 2 实 验 薄膜材料，具有介电常数高、损耗低、漏电流小和可 调谐性好等特点【11，且其与YBa2Cu307．J(YBCO)匹配 很好，两种材料不相互反应【2]。高微波性能的 为：激光能量密度1．5J·cm～，频率2Hz，靶．基间距 40 BST／YBCO双层膜和YBCO／BST／YBCO三层膜的制mm，薄膜沉积温度800℃，沉积时间60min，氧 气分压25 备技术正在快速进步。Ramesh等【3]给出一种生长具有 Pa。薄膜沉积完毕后，降温到520℃，真空 明锐界面的单晶铁电／高温超导多层膜的方法。然而， 室内充入～0．1MPa氧气，保温30min后冷却到室温。 由于C轴取向YBCO薄膜的三维岛状生长，使薄膜表薄膜沉积前，把偏离[0101晶向斜切角分别为10，3。， 面粗糙，难于形成由单晶铁电薄膜和明锐界面组成的 60，1 多层膜，结果BST薄膜的介电常数远小于其大块材 800℃，2h退火处理。处理后的基片表面具有台阶结 料。近年来，许多学者研究了斜切基片表面的自组织。 例如，斜切SrTi03(STO)基片在高温高纯氧气环境中为830℃，靶．基间距60 退火即可发生表面自组织[4】。对基片进行适当的处理， 入薄膜沉积室～0．1MPa的高纯氧气，保温30min后冷 Pa 可以获得台阶表面，这能够使YBCO薄膜的生长机制却到室温。然后原位换成BST靶，在800℃，25 变成“台阶流动”模式[5-10]。 氧分压下以5 收稿日期：2004—12一Ol 基金项目：国家自然科学基金重点基金资助 0335—8074795，E—