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生长温度对AlGaInN四元合金薄膜性质的影响-物理学报
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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生长温度对!#$%’ 四元合金薄膜性质的影响!
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刘启佳 邵 勇 吴真龙 徐 洲 徐 峰
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刘 斌 谢自力 陈 鹏
!)(南京大学扬州光电研究院,扬州 $%% )
)(南京大学物理系,南京 !%%’ )
( 年 月 日收到; 年 月 日收到修改稿)
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利用金属有机物化学气相沉积( )方法在 面蓝宝石( )衬底上外延生长了铝镓铟氮( )四
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元合金薄膜 合金薄膜的生长温度设置为 , , ,对获得的样品进行对比分析发现:随着生长温度的升高,
5 6%% 6$% %% 7
合金中的 组分单调降低,而 组分则基本保持恒定 当合金薄膜的生长温度升高到 时,薄膜表面开始出
23 ./ 5 6$% 7
现 型缺陷;生长温度进一步升高到 时,偏析 原子的脱吸附作用加剧, 型缺陷成核被弱化,使 型缺陷
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的特征尺寸和分布密度大幅降低5
关键词: ,金属有机物化学气相沉积,生长温度
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中,由于 — 键能较弱, 原子在晶格中的结合往
23 4 23
!J 引 言 往要求较低的生长温度,而./ 原子由于其较低的迁
移率却要求较高的生长温度(三元合金23014 的金
族氮化物宽禁带半导体材料体系包括
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