甲酚醛树脂HMMM负性水型化学增幅抗蚀剂的研究-影像科学与光化学.PDF

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2017-10-06 发布于天津
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甲酚醛树脂HMMM负性水型化学增幅抗蚀剂的研究-影像科学与光化学.PDF

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甲酚醛树脂HMMM负性水型化学增幅抗蚀剂的研究-影像科学与光化学

16 2 Vol. 16, No. 2 1998 5 PHOT OGRAPH IC SCIENCE AND PHOT OCHEMISTRY May, 1998 研究论文 HMMM * 吴兵李元昌陈明林天舒洪啸吟* * ( , 10008 ) 焦晓明程爱萍陈建军 ( , 100022 ) 本文利用二苯碘盐为光敏产酸物, 吩噻嗪为敏化剂, 配制了一种甲酚醛树脂六甲氧甲三聚氰胺 (HMMM) 负性水型紫外化学增抗蚀剂, 并研究了光敏产酸物和增感剂对体系光敏性的影响及体系中存在的拉平效应, 通过优化后的光刻工艺条件得到了分辨率为1. 2 m 的光刻图形. 化学增幅抗蚀剂, 光敏产酸物, 增感剂 , , , , , , , , , , [ 1,2] , . , . 1997 7 17 , 1997 11 2 . * ( : * * 15 2 : -HMMM 155 1 1. 1 [3] 1 ( 1) , 3 , HNMR, 3 ( 2) (M n= 3002~ 296 , M w= 9700~ 9600, D = 3.5~ 3.6), . ( 3) ( HMM M) , ( Cym303) , . ( ) , . 1. 2 ( 1) , 7211- 6, 701 . ( 2) , , 80W . ( 3) , DGB/ 20-002 , . 1. 3 TENOR( Model 10-000 0) . 1. 4, OLYMPUS BH ( SEM) , CSM950 1. 5 ( 1) : H O H O= 125( ) SiO / Si 0 2 2 2 2 min , . ( 2) : , 1. 05 m. ( 3) : 80, 20 min. ( ) : , 30~ 0 s. ( 5) : 112~ 118, 10 min. ( 6) : 2%NaOH ( ( = 1 ) , 30 s. ( 7) : 150, 30 min. ( 8) : HF( 8% ) NH F= 369 , 32~ 3 , 3 min. ( 9) : . 2 , HM MM , , : HM MM , 30~ 0 g; , 90~ 110 g; , 8~ 12 g; ( ) , 5~ 10 g; , ; ( ) , 00 mL. , 1. 2 m 2 ( 12) , 95 mJ/ cm , ( 156 16 2~ 3 m) , . 5 m ( 3) . 1( 75) 2( 600) 3( 600) 2. 1 , , . . HM- M M . , , , , [