泡生法90公斤级蓝宝石晶体的生长与研究.pdfVIP

第42卷第12期 人 工 晶 体 学 报 Vol-42No．12 OFSYNTHETICCRYSTALS December．2013 2013年12月 JOURNAL 泡生法90公斤级蓝宝石晶体的生长与研究 刘春雷，李楠，蔡迅，黎建明 (北京有色金属研究总院有研光电新材料有限责任公司，廊坊065001) 摘要：采用泡生法生长蓝宝石晶体(a—A120，单晶)，针对蓝宝石晶体的结晶性质和生长工艺条件展开了研究，解释 了蓝宝石晶体中气泡的形成机制并提出了相应的解决方法，成功生长出了90公斤级大直径蓝宝石晶体。 关键词：蓝宝石晶体；泡生法；气泡；结晶性质 中图分类号：078 文献标识码：A ResearchonGrowthof90 Class Method kg CrystalsbyKyropoulos Sapphire LIU Chun—lei，LINan，CAIXun，LIJian—ming Materials ResearchInstituteforNonferrous (GRINM Co．，Ltd．，General 065001，China) Electro·optic Metals，Langfang 2 10 (Received June2013) May2013，occ甲把d this Abstract：In method， paper，sapphirecrystals(a—A1203monocrystal)weregrownbyKyropoulos and conditionshavebeen formation sapphirecrystal§crystallizationpropertygrowthprocess studied，the mechanismofbubblesin were andalsotheeliminationmethodwas sapphirecrystalexplained suggested， 90 size were kgclass．1argesapphirecrystalssuccessfullygrown． Keywords：sapphirecrystal；kyropoulosmethod；bubble；crystallizationproperty 蓝宝石晶体(Od．AI：O，单晶)属于三方晶系，具有高温耐熔性(熔点为2050oC)，宽的透光范围(0．15—7 斗m)…。由于蓝宝石晶体具有优异的力学、光学、电学性质，并且能承受高温，被广泛应用于保护屏、耐磨损 器件、工业用耐高温高压窗口、外延片衬底材料、激光基质、激光窗口以及高速战机、导弹的整流罩等领域，是 被工业、科研和国防等领域广泛使用的传统材料旧J。随着上世纪90年代GaN在蓝宝石衬底上外延成功¨1， 蓝宝石晶体成为LED外延片主要的衬底材料，蓝宝石晶体产业得到了快速发展。大直径蓝宝石晶体不仅可 以制备大尺寸的LED衬底晶片，而且能