功能金属微纳结构的飞秒激光制备与集成技术研究.pdf

  摘要 金属微纳结构制备技术在微电子、光电子器件研制中具有重要地位，例如， 铜工艺、12英寸晶圆、90纳米线宽曾被称为引导半导体发展趋势的三大浪潮， 其中以铜代铝的纳米布线（铜工艺）在降低互联层厚度、降低寄生电容、提高 器件可靠性方面起到了关键作用；微纳电极制备是石墨烯、碳纳米管、功能高 分子等纳电子器件面临的主要挑战之一；表面等离子激元为光子器件纳米小型 化提供了全新原理和路径，其工艺核心是金属微纳结构的设计与制备；而新原 理微机电系统（MEMS）、纳机电系统（NEMS）、智能微机械和微流控芯片系统甚 至需要三维金属布线，使用现有微纳加工方法难以实现。因此在某种程度上可 以说，金属微纳结构制备的工艺水平决定了器件的研制水平。面对这一挑战， 本论文以完全不同于传统IC光刻工艺的飞秒激光微纳加工技术为基础，以高性 能微流控芯片等的功能部件制备与集成为目标，提出了飞秒激光光动力纳米组 装和微纳器件柔性集成等新概念和新技术，实现了金属三维纳米布线以及基于 布线技术的碳纳米管器件的制备，完成了微流加热器、微流混合器、表面增强 拉曼（SERS）检测器等一系列功能微纳部件的制备及其在微流控通道的集成。 具体创新成果总结如下： 1．提出飞秒激光光动力纳米组装新技术,利用多光子诱导还原金属种子以 及金属种子表面等离子激元（SPPs）效应，实现了银纳米片阵列等深亚波长金 属纳米结构的制备。我们提出的光动力纳米组装的概念是指以光为外力，利用 激光提供光化学反应的能量、利用光压（光镊力）驱动原子、分子、离子和粒 子等纳米基元的质量迁移促成的纳米有序结构制备方法。在用银离子前驱体溶 液制备银纳米结构过程中，发现通过多光子吸收过程制备的银纳米粒子一方面 起到光氧化还原催化剂的作用，在线偏振激光的作用下产生局域等离子体，在 两极诱导出电荷，静电力的作用会让银离子在银纳米粒子两端继续被还原。另 一方面纳米粒子相互之间在偏振光作用下由于静电作用互相吸引结合形成定向 排列。从而纳米粒子的局域等离子体效应引导产生了纳米条纹，纳米条纹又继 续引导产生银纳米片结构。在此基础之上，通过调制激光功率和前驱体溶液 pH 值实现对银纳米片结构厚度的调制，获得最薄银纳米片厚度为29纳米。并通过 I      改变激光偏振方向调制银纳米片结构的生长方向。由此得到多层系银纳米微结 构。通过对制备的银纳米片结构进行化学置换反应制备金银复合微纳结构，解 决了单纯银 SERS（Surface enhanced Raman Scatttering）结构化学稳定性不 良的问题，得到具有高度稳定性和粗糙度可控的表面，适用于高稳定性高灵敏 性拉曼检测基底和多种化学催化反应。另外，基于激光加工技术或结合其他技 术，制备了多种类型的金属复合微纳结构。a)激光直写沉积银离子前驱体溶液 和石墨烯氧化物混合悬浊液制备银-石墨烯复合结构，可以一步实现银离子的光 还原和石墨烯氧化物的脱氧化。b)发现了通过脉冲能量放大的飞秒激光放大器 直写处理砷化镓表面，可以获得图案化的富砷区；富砷区域砷化镓表面可以以 电子供给的方式直接生长银纳米结构，从而实现了局域可控银纳米结构的生长， 制备了银-砷化镓复合结构。c)利用天然有机物骨架（玫瑰花结构）或者激光加 工制备的聚合物模板制备了聚合物-金属微纳结构用于SERS检测等。 2．将飞秒激光光动力纳米组装技术的应用成功拓展到半导体、金属等各种 纳米粒子的直接组装，并实现了微纳结构和器件的原位装配和驱动。a) 通过双 相法合成直径为 4 纳米金纳米粒子，并通过激光诱导组装技术实现了金微纳结 构的制备，解决了因为没有合适的金离子前驱体溶液导致激光微纳加工无法实 现金微纳结构制备的难题。通过微区光场梯度力模型解释了光动力组装金纳米 粒子的机制，计算获得金纳米粒子在激光光场中获得的最大驱动力为7.28皮牛。 并通过制备金微纳导线实现了任意位置碳纳米管器件的柔性电互联，制备了碳 纳米管场效应晶体管。b) 通过组装半导体量子点（CdTe）获得了多种半导体微 纳结构，最小线宽可以达到 170 纳米。由于量子点表面存在的大量缺陷，表面 有很多自由电子化学性质非常活泼，上述技术已